على الأرضية، عندما يبدأ سخان RTP في التغير، فإن العملية بأكملها تستمر في الحركة. أي انحراف طفيف في درجة الحرارة يؤدي إلى تغيير في خصائص المادة المستخدمة في الطباعة الضوئية. أما الحرارة المرتفعة جدًا أو المنخفضة جدًا، فهي تجعل من الصعب التحكم في درجة الحرارة المطلوبة. والنتيجة هي رفض المنتجات، والحاجة إلى إعادة المعالجة، بالإضافة إلى استهلاك طاقة كبيرة لا يمكن استردادها.
ما الذي يهم فعلاً؟ لقد صممنا سخان RTP بحيث يحافظ على توحيد درجة الحرارة عند مستوى ±0.1 درجة مئوية، خلال العملية بأكملها. توفر المصابيح الهالوجينية ذات الأمواج القصيرة تحكماً دقيقاً في درجة الحرارة، مما يساعد على الحفاظ على خصائص المادة المستخدمة في الطباعة الضوئية. كما أن استخدام مواد قليلة الانبعاثات الحرارية يساعد على الحفاظ على مستوى الجسيمات في الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى 100، بالإضافة إلى أن العزل القائم على الألياف الكربونية يقلل من استهلاك الطاقة دون زيادة الحرارة. يمكن تركيب هذا السخان في الأجهزة القائمة باستخدام موصلات موحدة، بحيث يتم الحفاظ على درجة الحرارة المطلوبة.
هذا هو السبب في أن هذا السخان يعمل بشكل جيد في عمليات الطباعة الضوئية والنقش: درجة الحرارة هي معيار مهم في العملية، ولا يمكن قياسها بعد انتهاء العملية. مع هذا السخان، تظل درجة الحرارة ثابتة، وتتحسن توحيد درجة الحرارة، كما تظل خصائص الفيلم ضمن النطاق المطلوب. كما أن التكرار في العمليات يقلل من وقت الاختبارات، ويساعد في الحفاظ على دقة العملية. يمكن للنظام العمل على مدار 24 ساعة دون توقف، وتصل مدة عمر المصابيح إلى 5,000 ساعة على الأقل، مما يعني حاجة أقل لقطع الغيار وتقليل وقت الصيانة.
يتعلق التركيب بمطابقة شكل الغرفة مع شكل السخان، بالإضافة إلى التأكد من توجيه المصابيح بشكل صحيح نحو سطح الرقاقة. حتى أصغر انحراف قد يؤدي إلى اختلال في درجة الحرارة. يجب إجراء اختبارات قصيرة لضبط معدلات الحرارة وأوقات التعرض للحرارة بشكل صحيح. من المتوقع أن يكون هناك حاجة إلى مزيد من التبريد، لأن الحفاظ على درجة حرارة ±0.1 درجة مئوية يتطلب تنسيقاً دقيقاً مع أجهزة التبريد. نحن نوفر الرسومات الخاصة بالتوصيلات وبيانات التحليل الحراري، حتى يتم التركيب بشكل صحيح.