في قسم التصنيع، فإن حدوث اختلاف في درجة الحرارة بمقدار 0.5 درجة مئوية أثناء عملية التسخين يمكن أن يؤدي إلى تلف كميات كبيرة من المواد المستخدمة في التصنيع. أما الرطوبة المتبقية، فهي سبب ظهور عيوب مثل تشوهات السطح وانهيار الأنماط المطلوبة، وهي عيوب تظهر في مراحل متأخرة من العملية، لكن تكلفتها باهظة في المراحل الأولى. لذلك، قمنا بتصميم جهاز لإزالة الرطوبة من الرقائق، وذلك للتخلص من هذا العامل المؤثر على جودة الإنتاج، في نفس المكان الذي تتعرض فيه الرقائق للحرارة.
ما الذي يهم من الناحية التقنية؟ إنه جهاز من نوع الأشعة تحت الحمراء ذو الموجات القصيرة، وهو مصمم لتسخين السطح بسرعة. يظل التوزيع الحراري على الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما أن الدقة في العملية تتم مراقبتها لكل دفعة من الرقائق، وليس بناءً على تخمينات. يمكن استخدام هذا الجهاز في غرف نظيفة من الفئة 1–100، حيث يتم استخدام مواد خالية من الغازات للحفاظ على مستوى منخفض من الجسيمات. يظل أداء الجهاز ثابتًا لأكثر من 5,000 ساعة، مع انخفاض في الأداء بنسبة أقل من 5%، وبالتالي لا يحدث أي تغيير في درجة الحرارة خلال فترات العمل المختلفة.
لماذا يعمل هذا الجهاز في الأماكن المناسبة؟ يقوم هذا الجهاز بإزالة الرطوبة قبل وأثناء عملية التسخين، كما أنه يدعم كلا من الطرق اللينة والصعبة في التسخين، مع الحفاظ على استقرار درجة الحرارة. يكون رد الفعل سريعًا، مما يقلل من وقت التسخين، وبالتالي تظل الأبعاد المطلوبة ضمن النطاق المحدد. وبذلك، يمكن الحصول على سيطرة أفضل على الأبعاد، وتقليل عدد عمليات إعادة المعالجة، بالإضافة إلى تقليل استهلاك الطاقة. تم تصميم هذا الجهاز بحيث يتوافق مع المعايير الدولية لمعدات أشباه الموصلات، كما أنه يمكن دمجه مع الأنظمة القائمة دون الحاجة إلى إعادة تصميم الخطوط الإنتاجية بالكامل.
بعض الملاحظات العملية: يتطلب التركيب مطابقة واجهة الجهاز مع واجهة محطة التسخين الخاصة بك، بالإضافة إلى توصيل الطاقة والأجزاء الأخرى المتعلقة بالجهاز. يجب الحفاظ على نظافة الأجزاء الضوئية، كما يجب مطابقة الحمل الحراري مع تصميم الغرفة، وإلا فإن التوزيع الحراري سيتغير عند استخدام طاقة أعلى. يجب تنفيذ عملية التحويل في أوقات الصيانة الوقائية، كما يجب ضبط الإعدادات حسب خصائص المواد المستخدمة في التصنيع.