V prostředí litografie nepřežije polyimidový fotorezistent takovou míru kontroly teploty, jakou lze dosáhnout pomocí běžných lamp. Mírné zahřívání,...

V prostředí lithografie byste neměli považovat proces měkkého zahřívání za pouhou přípravnou fázi. Jde o tepelný krok, který zajišťuje konzistentní...