V prostředí litografie neznamená půl stupně posunu během měkkého nebo tvrdého zahřívání jen číslo v tabulce. Projevuje se to jako variace tloušťky...

Na výrobní lince není bake na E-beam resist zahřívání. Je to základní proces. Když dojde k odchylce 2 °C na horké desce, posune se vaše kritická...