Auf der Lithografieebene bedeutet eine Temperaturänderung von 2°C während des Trocknungsprozesses des Photoresists nicht nur eine Abweichung – es handelt sich dabei um einen direkten Weg zu Defekten im Bauteil. Die Trocknungs- und Backvorgänge müssen dem thermischen Budget des Prozesses entsprechen – und nicht dem Budget, das für die Wartung vorgesehen ist. Wir haben unsere Lampen so konstruiert, dass sie diesen Anforderungen entsprechen: geringe Kosten – aber keine Kompromisse bei der Präzision.
Was technisch wichtig ist:
Die Lampe verfügt über ein Halogenelement mit kurzwelligem Licht, das in einer Quarzkapsel untergebracht ist. Dadurch wird eine schnelle, stabile Infrarotstrahlung erzeugt – ideal für den Trocknungs- und Backvorgang. Die thermische Homogenität auf der Waferoberfläche liegt bei ±0,1°C, sodass die kritischen Abmessungen weiterhin innerhalb der Spezifikationen bleiben. Die Erzeugung von Partikeln ist nahezu null – dadurch bleibt die Reinheitsstufe in den Reinräumen bei den erforderlichen Werten. Die Lampe funktioniert mit Standardspannungen, passt in gängige Steckdosen und behält ihre Leistung über 5.000 Stunden hinweg bei – mit weniger als 5% Leistungsabfall.
Warum das in der Produktion funktioniert:
In der Produktion ist Reproduzierbarkeit unerlässlich. Diese Lampe hält die Temperatur auch bei rund um die Uhr dauerndem Betrieb konstant – dadurch lassen sich die Trocknungs- und Backvorgänge immer wieder gleich genau wiederholen. Diese Konstanz reduziert Abfälle und Reparaturarbeiten. Zudem verkürzt sich die Aufwärmzeit, die Produktivität steigt und der Energieverbrauch sinkt. Der Austausch der Lampe geht schnell vonstatten – dadurch entstehen keine unplanmäßigen Stillstandszeiten. Man zahlt weniger pro Lampe und muss weniger Zeit damit verbringen, mit Abweichungen umzugehen.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte:
Die Lampe ist für trockene, gefilterte Luftströmungen sowie eine montage in Reinräumen geeignet. Sie ist jedoch nicht für feuchte Reinigungsverfahren oder korrosive Umgebungen gedacht. Man muss auf die richtige Steckdosenart sowie die Geometrie des Reflektors achten – sonst kann die thermische Homogenität an den Rändern der Wafer beeinträchtigt werden. Wenn alles richtig eingestellt ist, kann die Lampe ohne größere Anpassungen in vorhandene Geräte eingesetzt werden – und liefert somit die gewünschte thermische Kontrolle für Ihren Prozess.