Verhinderung der Kontamination der Siliziumwafeln schon im Vorfeld
In einer Produktionslinie für Halbleiter ist das Platzen einer Glühröhre mehr als nur ein Ärgernis – es ist ein Albtraum. Wenn eine herkömmliche Quarzröhre kaputtgeht, hört sie nicht einfach auf zu funktionieren. Stattdessen verspritzt sie Partikel und chemische Stoffe auf die Siliziumwafeln. Mit einem einzigen Platzen wird die gesamte Charge unbrauchbar. Deshalb überdenken wir neu, wie unsere ozonfreien IR-Lampen konstruiert werden sollen.
Das Problem mit Ozon
Die meisten Kurzwellen-IR-Lampen strahlen Licht mit einer Wellenlänge von etwa 185 nm aus. Das Problem ist, dass dieses Licht auf das Sauerstoff in der Luft trifft und somit Ozon entsteht. Ozon ist schädlich – es ist korrosiv und kann die Innenteile der Maschinen langsam zerstören. Zudem kann es die Chemie auf der Oberfläche der Siliziumwafeln beeinträchtigen. Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir einen speziellen Typ von Quarzglas verwendet haben, das diese UV-Wellenlängen filtert. Dadurch entsteht kein Ozon. Einfach so.
Umgang mit der Hitze
Hohe Belastungen sind extrem belastend für die Lampen. Die Temperaturschwankungen sind enorm – genau dann brechen die Glühröhren oft. Um das zu verhindern, verwenden wir hochreines synthetisches Quarzglas. Dieses dehnt oder zieht sich kaum aus, im Gegensatz zu billigerem Glas. Außerdem haben wir die Dichtungen zwischen dem Filament und den Endkappen verbessert, damit kein Gas entweichen kann. Falls der Halogenzyklus versagt, brennt die Röhre einfach aus – sie explodiert nicht.
Der Kompromiss
Nun, es gibt nichts umsonst. Da die Filter bestimmte Wellenlängen blockieren, ändert sich die Spektralausbeute etwas. Sie werden vielleicht feststellen, dass die Erwärmungsrate etwas anders ist. Wahrscheinlich müssen Sie die Aufenthaltszeit der Wafeln in der Lampe anpassen oder die Leistungsstärke erhöhen, um die gleichen Ergebnisse wie mit einer herkömmlichen Lampe zu erzielen.
In Betrieb nehmen
Wir haben diese Lampen so gestaltet, dass sie direkt als Ersatz verwendet werden können. Sie lassen sich leicht austauschen. Achten Sie darauf, dass Ihre Stromversorgung zur Leistung der neuen Lampe passt. Versuchen Sie auf keinen Fall, die Lampe mit zu hoher Spannung zu betreiben, um den Energieverlust auszugleichen. Das führt nur dazu, dass das Filament kaputtgeht oder die Röhre platzt.
Ein Pro-Tipp: Halten Sie die Kühlfans sauber. Hitzepunkte im Quarzglas sind ein großes Problem.