Evitar la contaminación de las obleas antes de que comience
En una línea de producción de semiconductores de alto volumen, la rotura de un tubo de lámpara no es solo un problema molesto; es un verdadero desastre. Cuando un tubo de cuarzo estándar se daña, deja de funcionar y, al mismo tiempo, provoca que las obleas de silicio queden cubiertas de partículas y sustancias químicas. Con eso, todo el lote de obleas se vuelve inservible. Por eso, hemos reconsiderado la forma en que se fabrican nuestras lámparas de infrarrojos sin ozono.
El problema con el ozono
La mayoría de las lámparas de infrarrojos de onda corta emiten radiación a unos 185 nm. El problema es que esa radiación afecta al oxígeno presente en el aire, lo que genera ozono. El ozono es muy perjudicial: es corrosivo y puede dañar gradualmente las partes internas de la máquina, además de interferir con la química que ocurre en la superficie de las obleas. Para solucionar esto, utilizamos un tipo específico de vidrio de cuarzo que filtra esas longitudes de onda UV. De este modo, se evita la formación de ozono. Tan simple como eso.
Lidiando con el calor
Los ciclos de alta carga son extremadamente difíciles. Las fluctuaciones de temperatura son enormes, y es entonces cuando el vidrio puede romperse. Para evitarlo, utilizamos cuarzo sintético de alta pureza. Este tipo de vidrio no se expande ni se contrae tanto como el vidrio barato. También reforzamos los sellos entre el filamento y las tapas para evitar fugas de gas. Si el ciclo de halógenos falla, la lámpara simplemente se quema; no explota.
El sacrificio necesario
Ahora bien, nada es gratis. Dado que estos filtros bloquean ciertas longitudes de onda, la salida espectral cambia ligeramente. Es posible que note que la velocidad de calentamiento sea diferente. Probablemente tendrá que ajustar el tiempo de permanencia de la lámpara o aumentar la densidad de potencia para obtener los mismos resultados que con una lámpara estándar.
Haciendo que funcionen
Hemos diseñado estas lámparas para que puedan reemplazar fácilmente a las lámparas habituales. Son fáciles de sustituir. Asegúrese de que sus fuentes de alimentación tengan la misma potencia que la nueva lámpara. En ningún caso debe sobrevoltar la lámpara para compensar las pérdidas de calor. Eso solo causará daños en el filamento o en la lámpara misma.
Un consejo profesional: mantenga sus ventiladores de refrigeración limpios. Los puntos calientes en el vidrio son su peor enemigo.