Out on the fab floor، خط درست قبل از بستهبندی جایی است که میتوانید بدون اینکه حتی متوجه شوید، حاشیهها را از دست بدهید. یک مقدار رطوبت باقیمانده از خشککردن کافی است تا با مشکلاتی مانند delamination، void در اتصالات سیمی، و افت بهرهوری مواجه شوید که تنها هفتهها بعد—پس از قرارگیری قطعات در میدان—ظاهر میشود. نمیتوانید تغییرات حرارتی، تولید ذرات یا توقفهای غیر برنامهریزیشده را تحمل کنید. همین.
آنچه در مرحله خشککردن واقعاً اهمیت دارد
فرآیند خشککردن را بر اساس کنترل دقیق حرارتی و اجرای پاک ساختهایم. تابندههای NIR بدون هالوژن انرژی سریع و جهتدار ارائه میدهند و یکنواختی دمای سطح ویفر را در کل دسته به ±0.1°C حفظ میکنیم. محفظه با کلاس تمیزی cleanroom بین 1 تا 100 سازگار است و هر مسیر هوا به گونهای طراحی شده تا تولید ذره صفر باشد.
پروفایلهای دمای قبل از بستهبندی در هر نوبت اجرا تکرارپذیر هستند، با قفلکردن دستورالعمل و ردیابی کامل در لاگها. سیستم به صورت 7×24 کار میکند و در چند خط تولید با حجم بالا، زمانهای توقف غیر برنامهریزیشده صفر ثبت شده است، ضمن اینکه طول عمر قطعات بیش از 50,000 ساعت است.
چرا این با نحوه کار واقعی ما سازگار است
این پلتفرم حرارتی مستقیماً در جریان پس از لیتوگرافی و قبل از encapsulation قرار میگیرد. توان انجام فرآیندهای soft bake، hard bake و حذف نهایی رطوبت را بدون نیاز به قطع وکیوم یا کاهش پاکیزگی دارد.
زمان چرخه کوتاهتر است بهخاطر شیبهای حرارتی سریع و کنترل دقیق soak و مصرف انرژی کاهش مییابد زیرا گرمایش کارآمد است و جرم حرارتی پایین نگه داشته شده است. وقتی فرآیند تکرار میشود، تعداد دستههای اصلاحشده کمتر دیده میشود، شمار ذرات پایدار است و مشخصات رطوبت پیشبینیپذیر باقی میمانند—دقیقا همان چیزی که فاب بستهبندی قبل از mold، wire bond و flip-chip نیاز دارد.
آنچه باید برای آن برنامهریزی کنید
نصب نیازمند یک خط برق اختصاصی 240 V و مسیر تخلیهای است که بهمنظور حفظ اختلاف فشار cleanroom تأیید شده باشد. ابعاد مجموعه جمعوجور است، اما باید از قبل فاصله لازم برای دسترسی رباتها و نگهداری را در نظر بگیرید.
انتقال دستورالعمل بین ابزارها ساده است. فقط مراقب انباشتهای زیرلایه با جرم حرارتی بالا باشید—ممکن است نیاز به بهینهسازی سریع soak باشد تا به دمای هدف در بازه یکنواختی مشخص برسد.