جلوگیری از آلودگی ویفرها، پیش از شروع فرآیند تولید
در خطوط تولید نیمههادی با حجم بالا، پاره شدن لامپها مشکلی ساده نیست؛ بلکه یک فاجعه است.
وقتی که یک لامپ کوارتزی معمولی خراب میشود، نه تنها دیگر کار نمیکند، بلکه ذرات و مواد شیمیایی مختلف را نیز روی ویفرهای سیلیکونی ایجاد میکند. در نتیجه، کل محموله تولید شده بیفایده میشود. به همین دلیل، ما روش ساخت لامپهای IR بدون اسید ازن را دوباره بررسی کردهایم.
مشکل اسید ازن
اکثر لامپهای IR با طول موج کوتاه، تشعشعاتی در حدود ۱۸۵ نانومتر تولید میکنند. مشکل اینجاست که این تشعشعات با اکسیژن موجود در هوا واکنش داده و اسید ازن تولید میکنند.
اسید ازن مادهای خطرناک است؛ این ماده میتواند به تدریج داخل دستگاهها را خراب کند و حتی بر روی سطح ویفرها نیز تأثیر منفی داشته باشد. ما این مشکل را با استفاده از نوع خاصی از شیشه کوارتزی حل کردهایم؛ این شیشه، طول موجهای UV را فیلتر میکند و از تشکیل اسید ازن جلوگیری میکند. ساده است، درست است؟
مقابله با گرما
فرآیندهای تولید با بار بالا، بسیار سخت هستند؛ تغییرات دمایی بسیار زیاد است و اغلب در همین شرایط است که شیشهها میشکنند.
برای جلوگیری از این مشکل، از شیشه کوارتزی با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این شیشه تقریباً هیچ تغییری در اندازه خود نمیدهد. همچنین، ما سیستمهای ضدنشت بین رشتههای الکتریکی و پوششهای لامپ را تقویت کردهایم تا گازها از بین نروند. اگر سیستم هالوژنی لامپ خراب شود، لامپ فقط خاموش میشود؛ اما منفجر نمیشود.
تضادهای موجود
نکته مهم این است که هیچ چیز رایگان نیست.
از آنجایی که این فیلترها طول موجهای خاصی را مسدود میکنند، خروجی طیفی لامپ کمی تغییر میکند. ممکن است متوجه شوید که سرعت گرم شدن لامپ کمی متفاوت است. احتمالاً باید زمان کار لامپ را تنظیم کنید یا توان لامپ را افزایش دهید تا همان نتایجی که از لامپهای معمولی دریافت میکنید، به دست آید.
نحوه استفاده از لامپها
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به راحتی جایگزین لامپهای قدیمی کرد.
فقط مطمئن شوید که منبع تغذیه لامپ، متناسب با توان لامپ جدید باشد. هرگز سعی نکنید ولتاژ لامپ را بیش از حد افزایش دهید تا از اتلاف گرما جلوگیری کنید؛ این کار میتواند باعث خرابی رشتههای الکتریکی لامپ شود.
یک نکته مهم دیگر این است که فنهای خنککننده لامپ را تمیز نگه دارید؛ نقاط گرم روی شیشه کوارتزی، دشمن لامپ هستند.