نگهداری ویفرها در حالت تمیز: واقعیت مربوط به ایمنی هیترهای مورد استفاده در کارخانههای تولید نیمههادی
در کارخانههایی که در آنها تولید نیمههادی به صورت گسترده انجام میشود، خراب شدن لامپهای مادون قرمز میتواند مشکلات بزرگی ایجاد کند. مسئله فقط مربوط به زمان لازم برای تعمیر آن نیست؛ وقتی لوله کوارتز خراب میشود، تکههای شیشه و گرد و غبار به سمت ویفرها پرتاب میشوند. این امر باعث کاهش بازده تولید و ایجاد آلودگیهای جدی میشود.
ما هیترهای مورد استفاده را به گونهای طراحی کردهایم که چنین واکنشهای زنجیرهای اصلاً رخ ندهد.
چرا این لولهها خراب میشوند؟
معمولاً دلیل آن، شوک حرارتی است؛ اگر گرما به طور یکنواخت پخش نشود، کوارتز تحت فشار قرار میگیرد. در سیستمهای استفاده شده، گرما به سرعت افزایش و کاهش مییابد؛ این امر باعث ایجاد نقاط فشاری خطرناک میشود.
برای جلوگیری از این مشکل، از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم. ما زمان زیادی را صرف تنظیم ضخامت دیواره لوله کردیم؛ ضخامتی که هم به اندازه کافی محکم باشد و هم به اندازه کافی نازک تا گرما بتواند از آن عبور کند. همچنین، توان الکتریکی لوله را نیز تنظیم میکنیم؛ این کار مانع از ایجاد «نقاط گرم» میشود؛ که معمولاً منشأ ترکهاست.
استفاده از سیستمهای ایمنی
اما ما فقط به استحکام شیشه اعتماد نمیکنیم؛ ما یک مانع فیزیکی نیز اضافه کردهایم. اگر لوله خراب شود، تکههای شیشه درون بدنه محکم نگه داشته میشوند؛ آنها به ویفرها برخورد نمیکنند.
همچنین، به کانکتورها نیز توجه کردهایم؛ احتمالاً شما نیز شاهد ایجاد جرقههای الکتریکی در اتصالات نامناسب بودهاید؛ این جرقهها باعث ایجاد گرمای شدیدی میشوند که میتواند کوارتز را خراب کند. ما از کانکتورهای با دقت بالا استفاده میکنیم تا بار الکتریکی به طور یکنواخت توزیع شود.
مزایا و معایبی که باید بدانید
لامپهای مادون قرمز با توان بالا، مزایای زیادی دارند؛ زیرا سریع گرم میشوند و باعث افزایش بازده تولید میشوند. اما این گرما میتواند فشار زیادی بر بدنه هیتر وارد کند.
حتماً فنهای خنککننده را بررسی کنید؛ اگر آنها قدرت کافی برای خنک کردن محیط را نداشته باشند، لامپها سریعتر خراب خواهند شد؛ صرفنظر از اینکه سیستم محافظتی چقدر خوب باشد. گرمای زیاد میتواند یک عامل خطرناک برای سختافزار باشد.
و از آنجایی که میدانیم شما عجله دارید، این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که تعویض آنها آسان باشد؛ وقتی لامپ خراب شد، فقط کافی است آن را برداشته و لامپ جدیدی جایگزین کنید؛ نیازی به تخریب کل بدنه هیتر نیست. ساده است.