روی کف، هنگامی که گرمکن RTP شروع به کار میکند، مواد مورد استفاده در فرآیند لیتوگرافی نیز در حال حرکت هستند. گرمایش ضعیف یا نامناسب، باعث اختلال در پروفایل فوتورزیست میشود؛ در حالی که گرمایش بیش از حد یا کمتر از حد، کنترل CD را دشوار میکند. پیامدهای این امر، تولید محصولات نامرغوب، نیاز به بازسازی، و هزینههای اضافی برای جبران این اختلالات است.
آنچه واقعاً اهمیت دارد
ما گرمکن RTP را به گونهای طراحی کردهایم که یکنواختی دما در سطح ویفر، در طول کل فرآیند، حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد باشد. لامپهای هالوژنی با طول موج کوتاه، باعث ایجاد سرعت بالا و قابلیت تکرار در فرآیند گرمایش میشوند؛ در نتیجه پروفایل فوتورزیست حفظ میشود. ساختار کوارتزی و موادی که گاز کمی تولید میکنند، باعث حفظ ثبات تعداد ذرات در اتاقهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰ میشوند؛ همچنین، عایقهای فیبر کربنی، مصرف انرژی را کاهش میدهند بدون اینکه به جرم حرارتی اضافه شود. این گرمکن از طریق اتصالات استاندارد، در محفظهها و کنترلرهای موجود نصب میشود؛ بنابراین پروفایل حرارتی مطابق با دستورالعملها خواهد بود، نه برعکس.
دلیل موفقیت این گرمکن در فرآیندهای لیتوگرافی و اتشزدن، این است که دما یک پارامتر فرآیندی است که نمیتوان پس از اتمام فرآیند، آن را اندازهگیری کرد. با استفاده از این گرمکن، دمای گرمایش مناسب حاصل میشود، یکنواختی CD بهبود مییابد، و تنش در فیلم نیز در محدوده مشخصی باقی میماند. تکرارپذیری فرآیند، باعث کوتاه شدن زمان آزمایشها و دقیقتر شدن برنامهریزی فرآیندها میشود. این سیستم میتواند ۲۴ ساعته بدون هیچ توقفی کار کند؛ همچنین، عمر لامپها بیش از ۵۰۰۰ ساعت است، که به این معناست که نیاز به قطعات یدکی کمتری وجود دارد و زمان نگهداری سیستم نیز کمتر خواهد بود.
نصب این گرمکن، مستلزم هماهنگ کردن ساختار محفظه و تنظیم موقعیت لامپها نسبت به سطح ویفر است. حتی کوچکترین انحراف نیز میتواند باعث اختلال در فرآیند شود. پیشنهاد میشود یک آزمایش کوتاه انجام شود تا سرعت گرمایش و زمان لازم برای گرمایش مواد مورد استفاده، دوباره تنظیم شود. همچنین، انتظار میرود که بار سرمایشی کمی بیشتر باشد؛ زیرا حفظ یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، نیازمند هماهنگی دقیق با سیستمهای سرمایشی است. ما نقشههای مربوط به اتصالات و دادههای مربوط به پروفایل حرارتی را نیز ارائه میدهیم تا نصب گرمکن به خوبی انجام شود.