در کارخانه تولید، اختلاف دمایی ۰.۵ درجه سانتیگراد در حین فرآیند گرم کردن فوتورزیست، میتواند باعث از بین رفتن مقدار زیادی از محصولات شود. رطوبت باقیمانده نیز میتواند باعث ایجاد نقصهایی مانند لکههای روی سطح و فروپاشی الگوهای مورد نظر شود؛ این نقصها در مراحل پایانی تولید مشخص میشوند و هزینههای زیادی را به همراه دارند. ما لامپ حذف رطوبت را طوری طراحی کردهایم که این مشکلات را از بین ببرد، دقیقاً در همان نقطهای که ویفر با حرارت در تماس است.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟
این دستگاه از نوع اینفراردهای کوارتز-هالوژن است؛ این دستگاه برای گرمایش سریع سطح ویفر مناسب است. یکنواختی دمایی در سراسر ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین قابلیت تکرارپذیری این دستگاه بر اساس هر دسته از ویفرها اندازهگیری میشود. این دستگاه در اتاقهای پاکیزه درجه ۱ تا ۱۰۰ کار میکند؛ همچنین مسیر نوری آن بسته بوده و از موادی استفاده شده که میزان ذرات موجود در هوا را کنترل میکند. خروجی این دستگاه در طول بیش از ۵,۰۰۰ ساعت کار، کمتر از ۵٪ کاهش مییابد؛ بنابراین بودجه حرارتی شما در طول شیفتهای کاری تغییر نمیکند.
چرا این دستگاه در جاهایی که مهم هستند، مؤثر است؟
این دستگاه، رطوبت را قبل و در حین فرآیند گرم کردن از بین میبرد؛ همچنین از فرآیندهای گرم کردن نرم و سخت پشتیبانی میکند. واکنش این دستگاه سریع است؛ بنابراین زمان گرم کردن کاهش مییابد و ابعاد کلیدی ویفر در محدوده استانداردها باقی میمانند. این دستگاه امکان کنترل دقیقتر ابعاد ویفر را فراهم میکند؛ همچنین تعداد کارهای تکراری کاهش مییابد و مصرف انرژی نیز کمتر میشود. طراحی این دستگاه مطابق با استانداردهای بینالمللی تجهیزات نیمههادی است؛ همچنین این دستگاه بدون نیاز به بازنگری در کل خط تولید، قابل استفاده است.
چند نکته عملی:
برای نصب این دستگاه، باید رابطهای الکتریکی، کابلهای برق و سیستمهای ایمنی آن را با استانداردهای ایستگاه گرم کردن موجود هماهنگ کرد. همچنین باید سیستم نوری دستگاه را تمیز نگه داشت و بار حرارتی آن را متناسب با طراحی اتاق گرم کردن تنظیم کرد؛ در غیر این صورت، یکنواختی دمایی کاهش خواهد یافت. تغییرات لازم را باید در زمانهای مناسب انجام داد و پارامترهای دستگاه را متناسب با ویژگیهای شیمیایی فوتورزیست و لایههای موجود روی ویفر تنظیم کرد.