لامپ ساطعکننده نور نزدیک به مادون قرمز (NIR)

در محیط تولید، انحراف ۰.۲ درجه سلسیوس در Bake فوتورزیست انحراف کوچکی نیست. این به معنی از دست دادن کل دسته است. یکنواختی حرارتی در سطح ویفر، کنترل...