Comment obtenir le meilleur rendement de votre système de durcissement des wafer
Lors du durcissement des wafer, l’objectif est simple : transmettre autant de chaleur que possible au substrat. Il ne faut pas gaspiller un seul watt pour chauffer la structure de la machine. C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or. Ils capturent les rayonnements infrarouges qui sinon seraient simplement perdués, et les renvoient là où ils doivent être.
Pourquoi choisir l’or ?
On pourrait penser que de l’aluminium poli suffit. C’est acceptable, mais il a des difficultés à gérer les rayonnements infrarouges à longue longueur d’onde. L’or, lui, est incroyablement réfléchissant dans toute la bande infrarouge. En d’autres termes, davantage de photons sont renvoyés vers le wafer. Ainsi, on peut concentrer l’énergie de manière plus efficace, ce qui signifie qu’il n’est pas nécessaire d’utiliser une puissance élevée pour atteindre la température souhaitée. C’est un avantage tant sur le plan énergétique que technique.
C’est une question de forme
Il s’agit de voir le réflecteur comme un outil permettant de diriger la chaleur, et non simplement comme un miroir. Nous donnons à ces réflecteurs une forme spécifique afin qu’ils puissent atteindre précisément les zones concernées du wafer. C’est ainsi que l’on évite les “zones froides” et que la chaleur est distribuée de manière uniforme. Même une petite erreur dans la forme du réflecteur peut entraîner des gradients thermiques, ce qui perturbe le processus de durcissement.
Les inconvénients
L’or est effectivement un matériau performant, mais il est également fragile. Veuillez éviter d’utiliser des produits abrasifs ou des chimiques agressifs pour nettoyer ces réflecteurs. Sinon, vous risquez de détruire leur revêtement, ce qui réduira leur efficacité. Utilisez uniquement des solvants appropriés. De plus, ces réflecteurs mettent également plus de pression sur les supports servant à fixer la lampe. Assurez-vous que vos ventilateurs de refroidissement fonctionnent correctement. Sinon, la lampe risque de se brûler prématurément. Un bon flux d’air permettra de réduire les temps de traitement et donc les coûts.