Dans l’usine de fabrication, les zones de cuisson douce et de cuisson forte ne sont pas des endroits où l’on peut se permettre d’avoir des imprécisions. Une légère variation de deux degrés suffit à perturber les dimensions critiques des composants, tandis qu’une augmentation soudaine du nombre de particules peut détruire toute la production. Nous avons donc conçu des lampes à chauffage infrarouge à double tube, pour répondre aux exigences strictes du processus.
Ce qui est vraiment important, c’est le fait que le système à double tube concentre les ondes infrarouges à courte longueueur d’onde dans une zone précise, ce qui permet un chauffage rapide et direct, avec très peu de masse thermique. Sur toute la surface de cuisson, l’uniformité reste dans les limites de ±0,1 °C, ce qui garantit que le durcissement du photorésistant soit fiable, lot après lot.
La conception de la salle propre est intégrée au système : des enveloppes en quartz et des terminaux scellés permettent de contrôler le nombre de particules. De plus, les lampes ne libèrent aucune substance gazeuse pendant le processus de cuisson. L’intensité de lumière reste stable pendant plus de 5 000 heures, avec une déviation inférieure à 5 %, ce qui assure une stabilité constante du processus de lithographie.
Le principe de fonctionnement est simple : une grande répétabilité lors de la cuisson douce réduit les variations de diamètre des composants et améliore la qualité des bords des lignes dessinées. La constance lors de la cuisson forte réduit les besoins en retouches et protège le rendement de production. Le temps de mise en température est court, sans pour autant compromettre la précision de la température. De plus, le spectre infrarouge ciblé permet d’économiser de l’énergie, ce qui réduit les coûts de production par wafer. Dans les lignes de production à grande échelle, cette fiabilité signifie moins d’interruptions inattendues et des périodes de maintenance mieux planifiées.
Voici ce qu’il faut absolument prendre en compte lors de l’installation : l’alignement optique doit être parfait, et il est nécessaire de disposer d’un alimentation électrique dédiée et isolée, afin d’éviter tout interférence électromagnétique avec les autres étapes du processus. Les lampes fonctionnent最佳 lorsque elles sont adaptées à une géométrie de réflecteur spécifique et contrôlées par un pyromètre en boucle fermée. Si les réflecteurs sont remplacés sans recalibrage, l’uniformité peut varier de 0,2 à 0,3 °C.
Après le remplacement des lampes, il est nécessaire de procéder à un brûlage de démarrage et à un recalibrage afin de ramener la température de fonctionnement à ±0,1 °C.