על רצפת המפעל, שינוע של 0.3°C במהלך אפיית הפוטורזיסט מספיק כדי לזבל כמות גדולה של פרוסות – בלי שהאת׳ אפילו רואה את הפרוסה. תקציבי טמפרטורה אינם ניתנים למשא ומתן. לפיכך פיתחנו מדחם למחצבת מוליכים למחצה המאושר על ידי CE המותאם בדיוק למציאות זו: שומר על אחידות ברמת הפרוסה בטווח של ±0.1°C לאורך כל חלון האפייה, כך שהממדים הקריטיים יישמרו לפי המתכון, לא לפי זחילה תרמית.
מה שחשוב, מבחינה טכנית
המדחם משלב אלמנט יציב עם מסת חום נמוכה במסלול תרמי מקריסטל קוורץ ותגובה מותאמת ל-NIR. זה מאפשר עליות טמפרטורה מהירות וחוזרות וכן נקודות עמידה יציבות לאפיית ריכוך ולאפיית התקשות. הטמפרטורה נשמרת בטווח התקן גם כאשר הדלת נפתחת ובמהלך החלפות סדרות.
המערכת מותאמת לחדרים נקיים מדרגה 1–100: החומרים והמשטחים נבחרו להפחתת ייצור חלקיקים, והעיצוב נמנע מפליטות גז שעשויות לזהם את הפוטורזיסט. ארכיטקטורת הבקרה מכוונת לדיסציפלינה של מוליכים למחצה – נקודת ההגדרה לא פרוסה אלא למשטח הפרוסה – כך שהמערכת ממשיכה לפעול משמרת אחר משמרת.
למה זה עובד בליתוגרפיה
שלב האפייה הוא המקום שבו נקבעים הדבקות, הסרת הממס, ומתחי הסרט הדק. עם אחידות ±0.1°C, מורידים שונות ברוחב הקווים, מצמצמים סטיות בהטלה ומפחיתים עבודות תיקון נוספת. ייצוב מהיר מקצר זמני החלפת תהליך, ומאפשר יותר זמן פעילות מבלי לפגוע בפרופילי האפייה.
חימום ממוקד ובידוד תרמי יעיל שומרים על צריכת אנרגיה לפי התקן, ומפחיתים עלות פר פרוסה תוך שמירה על חזרתיות תרמית הדוקה בין משמרות. תאימות ל-CE מבטיחה שהמערכת עומדת בדרישות בדיקה לאבטחת בטיחות ו-EMC ליישום בקווי הייצור.
דברים שצריך לוודא
המדחם מתאים למשטחי אפייה סטנדרטיים וממשקי חדר נקי בשוק המוליכים למחצה, אך יש לוודא התאמה מדויקת של מיקום והיקף ההרכבה אל מול הכלי שלך. לקבלת ביצועים אופטימליים, מבנה הערימה התרמית – כולל המשטח, מיקום החיישן ותמיכת הפרוסה – חייב להתאים לשיעור פליטת הקרינה והמצבים המגעיים שצוינו במפרט.
בצע כיול נכון: הפעל מפת מדידה על פני מישור הפרוסה, ואז נעל את הפרופיל בחלון SPC.