300 मिमी लंबाई वाली लाइनों पर, थर्मल बजट कोई सुझाव नहीं है – यह तो ऐसी सीमा है जिसे अवश्य ही छूना नहीं चाहिए। यदि थर्मल तापमान में आधा डिग्री का अंतर हो जाए, तो उसका प्रभाव फोटोरेसिस्ट प्रोफाइल में दिखेगा। यदि हार्ड बेक के दौरान तापमान सही स्तर पर न रहे, तो डेवलपमेंट के बाद अवांछित पदार्थ बन जाएंगे। हमने ऐसे ही हीटर बनाए हैं… क्योंकि फैक्टरी में हर मिनट का अनप्लान्ड डाउनटाइम उत्पादन पर नकारात्मक प्रभाव डालता है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम, पूरे बेकिंग प्रक्रम में वेफर के सतही तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखते हैं… और रैंप रेट्स के कारण थर्मल प्रोफाइल भी सही रहता है। चैंबर में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों का उपयोग किया गया है… इसलिए कोई अवांछित कण नहीं बनते। क्लीनरूम में कणों की संख्या क्लास 1–100 में ही रहती है।
लिथोग्राफी में इसका क्या लाभ है?
धारावाहिक सॉफ्ट/हार्ड बेकिंग के कारण ही महत्वपूर्ण आयाम एवं साइडवॉल कोण नियंत्रण में रहते हैं। ये हीटर 7×24 घंटे तक सही तापमान बनाए रखते हैं… और कई वर्षों तक इनका उपयोग करने के बाद भी कोई अनप्लान्ड डाउनटाइम नहीं हुआ।
इसका परिणाम क्या है?
इसके कारण कम वेस्टेज वेफर, कम रीवर्क लॉट, एवं स्थिर साइकल टाइम होता है। इस डिज़ाइन में ऊर्जा की खपत कम होती है… लेकिन तापमान नियंत्रण ठीक ही रहता है।
कुछ व्यावहारिक बातें…
ये उपकरण मानक ट्रैकों में ही इस्तेमाल किए जा सकते हैं… लेकिन थर्मल कपलिंग को प्लेटेन एवं टूल के यांत्रिक इंटरफेस के अनुरूप ही रखना होगा। अपने विशिष्ट कैरियर एवं वेफर स्टैक के लिए PID कॉन्स्टेंट्स को समायोजित करने हेतु एक छोटा सा ट्यूनिंग प्रक्रिया आवश्यक है।
एक बार ये सेटिंग्स ठीक हो जाएं, तो प्रक्रिया हमेशा ही सही रहेगी।