Come proteggere i riscaldatori a infrarossi durante la pulizia chimica
Siamo onesti: utilizzare lampade a infrarossi all’interno dei bagni di pulizia per semiconduttori è come giocare con il fuoco. Si trattano infatti di vapori che possono esplodere da un momento all’altro. Basta una scintilla o una perdita nella tenuta per causare disastri.
Non vogliamo correre questi rischi. Invece di utilizzare componenti non protetti, avvolgiamo tutto in un involucro ermetico.
Il segreto sta nell’involucro stesso. Il elemento riscaldante e il termocoppio vengono inseriti all’interno di un involucro in quarzo o ceramica ad alta purezza; successivamente l’involucro viene sigillato con un elemento resistente ai prodotti chimici. È come indossare un’armatura: protegge i componenti elettrici dai sostanze corrosive.
Se la tenuta dovesse rompersi, la lampada si spegne rapidamente. Per evitare questo, utilizziamo sigilli a tenuta stagna, in modo che l’interno rimanga completamente isolato.
Regolare la temperatura correttamente. Nel mondo dei semiconduttori, “abbastanza vicino” non è sufficiente: è necessaria precisione. Per ottenere questa precisione, integriamo il termocoppio direttamente nell’unità di riscaldamento. In questo modo eliminiamo i ritardi termici. Poiché il sensore si trova proprio accanto al filamento, possiamo conoscere immediatamente quanto calore viene generato. Di solito utilizziamo sensori di tipo K o J, a seconda della temperatura richiesta. Ma c’è un dettaglio importante: dobbiamo proteggere i cavi elettrici. Le lampade ad alta potenza possono generare molto rumore elettromagnetico; non vogliamo che questo influisca sul controllore PID.
I sacrifici necessari. Ovviamente, questa protezione comporta dei compromessi. Tutti questi elementi aggiuntivi aumentano il peso dell’unità. Ci vorrà quindi più tempo per raggiungere la temperatura desiderata rispetto a quando si utilizza una lampada senza protezioni. Assicuratevi quindi che la fonte di alimentazione sia abbastanza potente per affrontare questi ritardi iniziali.
Inoltre, controllate regolarmente i giunti di tenuta. Anche i sigilli più resistenti, dopo migliaia di ore di utilizzo in soluzioni chimiche aggressive, finiscono per deteriorarsi.
Consiglio utile: Se il quarzo inizia ad apparire opaco, non aspettate: sostituite subito l’unità prima che la tenuta ceda.