なぜ、温風を待つのをやめるべきか？
私たちの多くは、温風による加熱方式に慣れています。空気を加熱し、その空気が対象物を温めるのです。これがオーブンの仕組みです。しかし、半導体の精密加工においては、この方法では遅すぎます。煩わしい熱遅延が生じ、処理時間が長くなってしまいます。
デジタル赤外線乾燥法では、この中間工程を省くことができます。空気を待つ代わりに、電磁波を使って直接素材にエネルギーを与えるのです。
これは、時間に対する考え方そのものを変えるものです。
考えてみてください。対流式オーブンでは、部屋全体が十分に温まるまで時間がかかります。一方、赤外線乾燥装置では、数ミリ秒で最大出力に達します。部屋が所定の温度に達するのを待つ必要はなく、すぐに素材に熱を与えることができます。
もちろん、昔は赤外線乾燥法にはリスクがありました。古い装置では温度が上がりすぎてしまい、ウェハが変形したり、化学薬品がダメになったりしていました。良くないことです。
しかし、今日のデジタルコントローラーなら、その問題を解決できます。高速応答型のセンサーやPID制御を用いて、リアルタイムで出力を調整することができます。つまり、部品を壊すことなく、熱密度を高めることができるのです。
また、スペースの面でもメリットがあります。温風式の装置の代わりに赤外線乾燥装置を使えば、広いスペースを確保できます。巨大な送風機や複雑なダクトは不要になります。必要なのは、ランプと安定した電源だけです。
ただし、注意点もあります。赤外線は直線的にしか作用しません。もし部品の形状が複雑だったり、不規則だったりすると、1つのランプでは不十分です。その場合は、複数のランプを配置したり、反射器を使って熱を届ける必要があります。
もし高生産性を求めるのであれば、赤外線乾燥装置への切り替えは必然です。より迅速に加熱でき、無駄なエネルギーの消費も減ります。
ただし、冷却ファンの状態も確認してください。機械のフレームに当たる放射熱に耐えられるかどうかをチェックしましょう。さもなければ、配線が溶けてしまいます。そんなことにはなりたくありませんよね。