壁を加熱するのはやめて、ウェーハを効率的に加熱しましょう。
ほとんどの加熱素子は雑然としており、熱があちこちに散逸してしまいます。これは半導体製造装置内では大きな問題です。その結果、「高温の壁」ができてしまい、高価な機器の内部が損傷してしまいます。これは機器自体を危険にさらすだけでなく、機械の操作を行う人々にとっても安全上のリスクとなります。
私たちはより良い方法を考え出しました。それが方向性赤外線加熱ランプです。
実際の動作原理
抵抗式のヒーターは、空気を温めるだけです。しかし、赤外線ランプは異なります。電磁波を直線的に放出します。私たちはこのランプを調整して、ウェーハの表面に直接熱を当てるようにしています。波長を微調整し、適切な反射器を使用することで、エネルギーをウェーハに集中させることができます。そうすれば、熱が装置の壁に漏れることはありません。
結果
装置の外殻は冷たいままであり、ウェーハはより短時間で所定の温度に到達します。
詳細
私たちは、大きな熱負荷に耐えられるようにこのランプを設計しています。石英製のケースとハロゲンフィラメントを使用することで、瞬時に電源を切ったりつけたりでき、非常に正確な温度制御が可能になります。既存のPID制御システムに接続すれば、厳格な温度管理ができます。
ただし、注意点もあります。このランプは非常に多くのエネルギーを小さな空間に閉じ込めるため、反射器が汚れたり、数ミリメートルだけずれてしまうと、ウェーハに熱点ができてしまいます。光学経路を常に清潔に保つ必要があります。そうしないと、一連の作業が台無しになってしまいます。
機器にも、作業員にも良い
壁が焼けないようにすることは、単にハードウェアを守るだけではありません。機械のそばで作業する人々の安全も守ることになります。外殻が冷たく保たれていれば、メンテナンス時に火傷する心配もありません。また、空気や機械の枠を加熱するための電力の無駄もなくなります。エネルギーは、本来あるべき場所、つまりウェーハに集中されます。