化学洗浄時にIRヒーターを安全に扱うために
正直言って、半導体の洗浄液の中で赤外線ランプを使うのは、まるで火遊びのようなものです。爆発しやすい蒸気を扱っているわけですから、ちょっとした火花やシールの漏れだけで大惨事につながります。
私たちはそのようなリスクを冒しません。開放型の構造ではなく、すべてを密閉して保護します。
秘密はスリーブにあります。
ヒーター要素や熱電対を高純度の石英やセラミック製のスリーブの中に入れ、耐薬品性のあるフランジでしっかりと固定します。これはまるで鎧のようなもので、高電圧を有害な薬剤から遠ざけ、腐食性のあるガスが配線を破壊するのを防ぎます。
もしシールが破れてしまった場合、ランプはすぐに壊れてしまいます。それを防ぐために、真空状態にして内部を完全に無反応にします。
適切な温度を維持すること。
半導体の世界では、「十分に近い」というだけでは不十分です。正確さが求められます。
そのため、熱電対をヒーター自体に組み込んでいます。そうすることで、熱の遅延がなくなります。センサーがフィラメントのすぐ隣にあるため、熱の流れがどのように変化しているかを即座に把握できます。
通常は、使用する温度に応じてK型またはJ型のセンサーを使用します。しかし重要なのは、配線をしっかりと保護することです。高出力のランプは多くの電気ノイズを発生させるため、PIDコントローラーに悪影響を与えないようにしなければなりません。
妥協点。
このような保護策にはコストがかかります。すべての保護部品によって質量が増えるため、ランプが温度に到達するまでに時間がかかります。ですから、十分な出力の電源が必要です。
また、フランジのガスケットも注意が必要です。どんなに頑丈なシールでも、何千時間も強い溶剤にさらされると最終的には劣化してしまいます。
**プロのアドバイス：**石英が曇ってきたら、待ってはいけません。シールが壊れる前にすぐに交換してください。