ウエハツール用温度センサー

なぜウエハー処理において赤外線加熱が熱風加熱より優れているのか もし、従来の熱風循環方式から赤外線加熱方式に移行しようと考えているなら、それを単に「より良い装置」を手に入れるということだけでは考えないでください。むしろ、時間を節約できるという点に注目してください。 熱風加熱は遅いです。対流を利用す...