화학적 세척 과정에서 적외선 히터를 안전하게 사용하는 방법
솔직히 말해서, 반도체 세척 과정에서 적외선 램프를 사용하는 것은 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 폭발하기 쉬운 증기들과 함께 작업해야 하기 때문입니다. 작은 스파크나 밀폐성이 떨어지는 부분만 있어도 재앙이 발생할 수 있습니다.
우리는 그런 위험을 감수하지 않습니다. 그래서 열원과 센서를 고순도의 석영이나 세라믹 소재로 만든 커버 안에 넣고, 화학물질에 견딜 수 있는 패킹으로 단단히 밀봉합니다. 이것은 마치 갑옷과 같은 역할을 합니다. 이를 통해 전기가 유해한 화학물질로부터 멀리 떨어져 있게 되며, 부식성 가스가 배선을 손상시키는 것도 막을 수 있습니다.
만약 밀폐성이 떨어진다면, 램프는 금방 고장 날 것입니다. 이를 방지하기 위해 진공 상태로 밀봉하여 내부가 완전히 안정된 상태를 유지합니다.
올바른 온도 조절
반도체 분야에서는 “충분히 가까운” 정도로는 부족합니다. 정확한 온도 조절이 필요합니다.
이를 위해 센서를 히터 어셈블리 내부에 직접 설치합니다. 이렇게 하면 열 지연 현상이 없어집니다. 센서가 필라멘트 바로 옆에 있기 때문에, 열이 발생하는 순간 그 상황을 즉시 확인할 수 있습니다.
보통은 사용하는 온도에 따라 K형 또는 J형 센서를 사용합니다. 하지만 중요한 점은, 배선을 반드시 보호해야 한다는 것입니다. 고출력 램프는 많은 전자파를 발생시킬 수 있으며, 이는 PID 제어기에 문제를 일으킬 수 있습니다.
단점들
물론, 이러한 보호 조치에는 단점도 있습니다.
모든 보호 장치들로 인해 무게가 증가합니다. 그래서 램프가 온도에 도달하는 데 시간이 좀 더 걸립니다. 따라서 전력 공급 장치가 충분히 강력해야 합니다.
또한, 패킹의 상태도 주의해야 합니다. 아무리 튼튼한 밀폐재라도 수천 시간 동안 강한 화학물질에 노출되면 결국 손상될 수 있습니다.
팁: 석영이 흐려지기 시작하면, 더 이상 기다리지 마세요. 밀폐성이 떨어지기 전에 바로 교체해 주세요.