Di bilik litografi, perubahan suhu sebanyak 1°C semasa proses pemanasan bahan fotoresist sudah cukup untuk mengubah dimensi-criteria penting tersebut, sehingga menyebabkan produk yang dihasilkan tidak berkualiti. Oleh itu, kawalan suhu yang tepat sangat penting, dan ia perlu dipertahankan dari satu sesi pengeluaran ke sesi yang lain.
Apa yang penting dari segi teknikal
Penghangat yang digunakan mampu mengekalkan keseragaman suhu pada tahap wafer pada kadar ±0.1°C di seluruh permukaan yang dipanaskan, dengan ketepatan tetapan sebanyak ±0.5°C. Pilih jenis penghangat yang sesuai dengan keperluan anda – sama ada penghangat jenis halogen, gelombang sederhana, atau karbon serat/NIR – pada voltan antara 100 V hingga 480 V. Pastikan saiz penghangat sesuai dengan permukaan pemanas, bekas penyimpanan wafer, serta alat-alat pengeringan yang digunakan.
Kuarsa dan bahan seramik berkualiti tinggi membantu mengurangkan pelepasan gas dan pembentukan zarah, sekaligus memastikan suasana di bilik bersih berada pada tahap Class 1–100. Kawalan suhu dilakukan menggunakan sistem PID, dengan pilihan komunikasi RS-485/Ethernet. Penghangat ini direka untuk beroperasi 24/7, dengan jangka hayat yang panjang tanpa sebarang gangguan operasi yang tidak dijangka.
Mengapa ia berkesan dalam praktik
Dalam proses pemprosesan fotoresist, keseragaman suhu yang tinggi memastikan proses pemanasan berjalan secara konsisten, sehingga dimensi produk tetap stabil. Dalam proses pembungkusan pula, profil pemanasan yang stabil dapat mengurangkan masalah seperti rongga atau pembengkokan pada produk, sekaligus memendekkan masa yang diperlukan untuk proses penghasilan produk yang berkualiti.
Tindak balas pantas terhadap perubahan suhu dan penggunaan tenaga yang rendah juga membantu mengurangkan kos operasi. Reka bentuk yang baik pula membantu memastikan jumlah zarah di udara tetap rendah, sehingga tidak perlu melakukan penyelenggaraan preventif secara kerap.
Beberapa realiti di kilang
Proses pemasangan bergantung pada penyesuaian jisim pemanas dan antaramuka termal yang digunakan. Anda mungkin memerlukan masa yang singkat untuk menyesuaikan tetapan PID agar sesuai dengan keadaan bilik pengeluaran. Penghangat ini serasi dengan protokol SECS/GEM, namun pelaksanaan protokol tersebut bergantung pada versi kontroler yang digunakan.
Pastikan operasi berlangsung dalam julat suhu yang ditetapkan, dan pastikan saluran penyejukan serta pengudaraan berada dalam keadaan baik. Jika tidak, perubahan suhu yang mendadak akan merosakkan komponen penghangat dan memendekkan jangka hayatnya.