Op een lijn van 300 mm is het thermische budget geen suggestie – het is een grens die niet mag worden overschreden. Een verschil van een halve graad tijdens het ‘soft bake’-proces? Dat zie je dan terug in het profiel van de fotoreceptor. Als het ‘hard bake’-proces niet volgens de ingestelde parameters verloopt, zal er na het ontwikkelen schuim ontstaan. We hebben deze heaters ontworpen om deze realiteit het hoofd te kunnen bieden; want in de fabriek betekent elke minuut onverwachte stilstand minder productiecapaciteit.
Wat technisch gezien belangrijk is:
We houden de thermische uniformiteit op het niveau van de wafer op ±0,1°C over het hele bereik van het proces. De temperatuurverhoging vindt snel plaats, zodat het thermische profiel precies overeenkomt met de vereisten. De kamer maakt gebruik van kortegolflengte-infraroodelementen met kwartsisolatie, zodat er geen deeltjes vrijkomen. Het aantal deeltjes in de schone room blijft stabiel op niveau 1–100.
De herhaalbaarheid is ingebouwd in het besturingsmechanisme: dezelfde instellingen,zelfde profiel, batch na batch.
Waarom dit werkt in de lithografie:
Een consistente behandeling tijdens het ‘soft bake’- en ‘hard bake’-proces zorgt ervoor dat de cruciale dimensies en hoeken onder controle blijven. Deze heaters kunnen de ingestelde parameters behouden, zelfs bij 7×24 uur continu gebruik. Na meerdere jaren gebruik hebben we geen enkele onverwachte stilstand geconstateerd.
Dat betekent minder verspilde wafers, minder herwerkingsprocedures en constante cyclustijden. Het ontwerp is efficiënt: de elementen zijn goed met elkaar verbonden en de thermische massa is laag. Hierdoor kan de energieverbruik worden verminderd, zonder dat de temperatuurreactie afneemt.
Enkele praktische tips:
Deze apparaten passen in standaardinstallaties, maar je moet de thermische verbindingen goed afstemmen op de plaat en de mechanische interface van het apparaat. Plan een korte testperiode in om de PID-constanten af te stellen voor jouw specifieke apparatuur en waferstack.
Zodra deze waarden zijn ingesteld, blijft het proces stabiel.