Zatrzymanie zanieczyszczeń płytek krzemowych jeszcze przed ich powstaniem
W linii produkcyjnej półprzewodników o dużej wydajności awaria lampy to nie tylko kłopot – to prawdziwy koszmar. Gdy standardowa rura kwarcowa przestaje funkcjonować, nie tylko przestaje emitować światło, ale także rozpryskuje cząsteczki i chemiczne zanieczyszczenia na płytki krzemowe. Wtedy cała partia produktu staje się bezużyteczna. Dlatego przemyśliliśmy sposób budowy naszych lamp IR bez ozonu.
Problem z ozonem
Większość lamp IR o krótkiej długości fali emituje promieniowanie o długości fali około 185 nm. Problem polega na tym, że to promieniowanie wpływa na tlen w powietrzu, co skutkuje powstawaniem ozonu. Ozon jest szkodliwy – niszczy elementy maszyny i może zakłócić procesy chemiczne na powierzchni płytek krzemowych. Rozwiązaliśmy ten problem, używając specjalnego rodzaju szkła kwarcowego, które filtruje te fale UV. Dzięki temu ozon w ogóle się nie tworzy. Prosto tak.
Radzenie sobie z ciepłem
Cykle pracy przy wysokim obciążeniu są wyjątkowo trudne – temperatura zmienia się gwałtownie, a właśnie wtedy szkło mogą się pękać. Aby temu zapobiec, używamy syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości. On nie rozszerza się ani nie kurczy się tak bardzo jak tańsze materiały. Ponadto wzmocniliśmy uszczelki pomiędzy żarnikiem a końcówkami lampy, aby gaz nie uciekał. Jeśli cykl pracy halogenowej zawiedzie, lampa po prostu się wypala – nie eksploduje.
Kompromisy
Niczego nie można mieć za darmo. Ponieważ filtry blokują pewne fale, widmo emisji światła się zmienia. Możesz zauważyć, że tempo nagrzewania jest nieco inne. Prawdopodobnie będziesz musiał dostosować czas pracy lampy lub zwiększyć intensywność światła, aby uzyskać te same rezultaty co przy użyciu standardowej lampy.
Jak je uruchomić
Lampy te zostały zaprojektowane tak, aby można je było łatwo zastąpić. Wystarczy sprawdzić, czy moc zasilania odpowiada mocy nowej lampy. Pod żadnym pozorem nie nadmiernie zwiększaj napięcie, by nadrobić straty ciepła. To droga do uszkodzenia żarnika lub lampy.
A jako porada: utrzymuj wentylatory chłodzące w czystości. Gorące punkty na powierzchni kwarcu stanowią poważne zagrożenie.