Na podłodze, gdy grzałka RTP zaczyna pracować niespójnie, cały proces produkcji jest zaburzany. Zbyt niska lub zbyt wysoka temperatura podczas procesu przypalania powoduje problemy z kontrolą rozmiaru krążków CD. Skutkiem tego są odpady, konieczność ponownej obróbki produktu oraz straty energii, których nie da się odzyskać.
Co naprawdę ma znaczenie w tym procesie
Stworzyliśmy grzałkę RTP tak, aby zapewnić jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C w całym czasie trwania procesu. Lampa halogenowa o krótkich falach umożliwia szybkie i powtarzalne dostosowywanie temperatur, co pomaga utrzymać stabilny profil temperatury podczas procesu przypalania fotoopornika. Układ kwarcowy oraz materiały o niskiej emisji gazów pomagają utrzymać stałą liczbę cząstek w pomieszczeniach klasy czystości 1–100. Izolacja z włókna węglowego zmniejsza zużycie energii bez dodatkowego obciążenia termicznego. Grzałka może być łatwo zamontowana w istniejących komorach i kontrolerach za pomocą standaryzowanych złączy, dzięki czemu profil temperatury jest kontrolowany zgodnie z ustalonymi normami.
Dlatego ta grzałka sprawdza się doskonale w procesach litografii i etchingu: temperatura jest parametrem, którego nie można zmierzyć po fakcie. Dzięki tej grzałce temperatura podczas procesu przypalania pozostaje stabilna, co poprawia jednorodność krążków CD i sprawia, że napięcie w filmie fotoopornika pozostaje w normie. Powtarzalność procesu pomiędzy poszczególnymi partiami produktu skraca czas konieczny do jego dopracowania. System może pracować 24/7 bez przerw, a żywotność lampy wynosi ponad 5 000 godzin między wymianami, co oznacza mniej części zamiennych i mniejsze koszty konserwacji.
Instalacja polega na dostosowaniu geometrii komory oraz sprawdzeniu precyzji ustawienia lamp względem płaszczyzny płytki krzemowej. Nawet niewielki odchyłek może wpłynąć na dokładność procesu. Zaleca się krótki test, aby dostosować tempo regulacji temperatury oraz czas ich trwania. Oczekuj też większego obciążenia chłodniczego – utrzymanie temperatury na poziomie ±0,1°C wymaga lepszej koordinacji z chłodnicami. Udzielamy planów montażu oraz danych dotyczących rozproszenia ciepła, aby proces instalacji przebiegł sprawnie.