На этапе литографии даже небольшое изменение температуры в размере 1°C во время процесса мягкой обработки фотополимера может привести к изменению критических размеров изделий и сделать их негодными для использования. Поэтому необходим контроль температуры, который сохранялся бы на нужном уровне снова и снова.
Что имеет значение с технической точки зрения Наши нагреватели обеспечивают однородность температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C, при этом точность регулировки составляет ±0,5°C. Выбор типа нагревателя зависит от требований к тепловым характеристикам – галогеновые, среднечастотные или углеродно-волоконные/ИК-нагреватели; напряжение питания может составлять от 100 до 480 В. Размеры нагревателей должны соответствовать размерам устройств для нанесения слоев, поддонов для пластин и устройств для отверждения материалов.
Кварцевые и высокочистые керамические элементы минимизируют выделение газов и образование частиц, что способствует поддержанию стерильной среды класса 1–100. Контроль температуры осуществляется с использованием метода PID; также доступны варианты подключения через RS-485/Ethernet. Нагреватели рассчитаны на круглосуточную работу; срок их службы очень велик, что исключает неplánовую остановку оборудования.
Почему это работает на практике Благодаря высокой степени однородности температуры при обработке фотополимера получаются стабильные параметры процесса, что позволяет сохранять стабильность размеров изделий. В процессе упаковки стабильные параметры отверждения снижают количество поров и деформаций, что сокращает время тестирования и исключает необходимость доработки изделий.
Быстрое достижение установленной температуры и низкие потери энергии позволяют сократить расход энергии. Благодаря простой конструкции нагревателей количество частиц остается на низком уровне, что исключает необходимость проведения профилактического обслуживания.
Некоторые особенности эксплуатации Установка нагревателей зависит от массы нагревательных плат и параметров теплового интерфейса. Понадобится некоторое время на настройку параметров PID в зависимости от геометрии камеры и других устройств. Нагреватели совместимы с протоколами SECS/GEM, но полная совместимость зависит от версии контроллера. Необходимо поддерживать температуру в пределах разрешенных значений, а также обеспечивать свободный проход воздуха для охлаждения. В противном случае термические нагрузки сокращают срок службы нагревателей.