
Как обеспечить безопасность инфракрасных нагревателей при химической чистке
Честно говоря, использование инфракрасных ламп в процессе чистки полупроводников – это всё равно что играть с огнем. Речь идет о парах, способных взорваться от малейшей искры или повреждения уплотнения. Одного такого случая достаточно, чтобы возникла катастрофа.
Мы не рискуем. Вместо использования нагревателей с открытыми элементами мы заключаем все компоненты в герметичные корпуса.
Секрет заключается в специальном кожухе.
Нагревательный элемент и термопару помещают в корпус из высокочистого кварца или керамики, а затем закрывают его уплотнителем, устойчивым к химикатам. Это своего рода «доспехи», которые сохраняют электрический ток подальше от разрушительных химикатов и предотвращают коррозию проводов.
Если уплотнение все же нарушается, лампа быстро выходит из строя. Чтобы этого не происходило, мы используем герметичные уплотнения, что позволяет сохранять внутреннюю среду в состоянии инертности.
Правильная температура.
В мире полупроводников «почти правильная» температура недостаточна. Необходима точность. Для этого термопару встрояют прямо в конструкцию нагревателя. Это устраняет задержку в передаче информации о температуре. Поскольку датчик находится рядом с нагревательным элементом, можно сразу видеть, как меняется температура.
Обычно мы используем датчики типа K или J в зависимости от необходимой температуры. Но важно также защитить провода от электромагнитных помех. Высокомощные лампы могут создавать много электромагнитных помех, а мы не хотим, чтобы они влияли на работу контроллера PID.
Компромиссы.
Конечно, такая защита имеет свои недостатки. Все эти уплотнения увеличивают массу устройства. Поэтому потребуется больше времени, чтобы достичь нужной температуры. Убедитесь, что ваш источник питания достаточно мощен, чтобы справиться с этой задержкой.
Также следите за уплотнителями. Даже самые прочные уплотнители со временем изнашиваются после тысяч часов работы в агрессивных растворах.
Совет: Если кварц начинает тускнеть, не медлите. Замените устройство до того, как уплотнение полностью выйдет из строя.