На производственном участке отклонение температуры в 0,5°C во время процесса обжига фотополимера может привести к тому, что большая часть продукции станет бракованной. Остатки влаги также способствуют возникновению дефектов: неравномерности на поверхности пластины, искажений её формы и т. д. Эти дефекты проявляются поздно, но уже в этот момент возникают значительные потери. Мы разработали специальное устройство для удаления влаги с пластин, чтобы избавиться от этого фактора прямо там, где пластина находится под воздействием тепла.
Что важно с технической точки зрения Это устройство работает по принципу коротковолнового инфракрасного излучения, предназначенного для быстрого нагрева поверхности пластины. Равномерность температуры по всей площади пластины составляет ±0,1°C. Параметры работы устройства контролируются для каждой партии продукции. Устройство может использоваться в чистых помещениях класса 1–100; оно имеет герметичную оптическую систему и использует материалы с низким уровнем выделения газов, что предотвращает увеличение количества частиц в воздухе. Эффективность устройства сохраняется в течение более 5,000 часов – отклонение составляет менее 5%. Таким образом, температурный режим остается стабильным на протяжении всего времени работы.
Почему это устройство эффективно Устройство помогает удалять влагу до и во время процесса обжига. Оно поддерживает как мягкий, так и жесткий режимы обжига, при этом параметры нагрева можно точно контролировать. Благодаря быстрой реакции устройства время обжига сокращается, а критические размеры пластины остаются в пределах допустимых значений. Это позволяет лучше контролировать размеры пластины, сокращать количество бракованных изделий и экономить энергию. Устройство соответствует международным стандартам оборудования для производства полупроводников, и его можно интегрировать в существующую производственную линию без необходимости перенастройки всей системы.
Несколько практических замечаний При установке устройства необходимо согласовать его интерфейс, источник питания и механизмы безопасности с уже существующей установкой для обжига. Необходимо также поддерживать чистоту оптической системы и выбирать такую мощность, которая соответствует конструкции камеры. Иначе при более высокой мощности может возникнуть отклонение в равномерности нагрева. Рекомендуется проводить замену устройства во время планового технического обслуживания, а также настраивать параметры устройства в соответствии с характеристиками используемого фотополимера и структуры пленки.