บนพื้นโรงงาน การสวิงอุณหภูมิ 0.3°C ระหว่างการอบ photoresist ก็เพียงพอที่จะทำให้ของเสียจำนวนมากเกิดขึ้น—ก่อนที่กระบวนการกัดจะเริ่มสัมผัสกับแผ่นเวเฟอร์ งบประมาณความร้อนไม่สามารถเจรจาต่อรองได้ เราออกแบบเครื่องทำความร้อนสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ที่ได้รับการรับรอง CE เพื่อรองรับความจริงนี้โดยเฉพาะ: สามารถรักษาความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ที่ ±0.1°C ตลอดช่วงเวลาการอบทั้งหมด ทำให้มิติสำคัญเป็นไปตามสูตร ไม่ใช่ตามการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ
สิ่งที่มีความสำคัญในแง่เทคนิค
เครื่องทำความร้อนถูกจับคู่ระหว่างองค์ประกอบที่มีมวลความร้อนต่ำและเสถียร กับเส้นทางความร้อนควอตซ์และการตอบสนองที่เหมาะสมกับ NIR ซึ่งให้ความร้อนขึ้นอย่างรวดเร็วและทำซ้ำได้ พร้อมกับรักษาค่าที่ตั้งไว้อย่างมั่นคงสำหรับการอบแบบนุ่มและอบแบบแข็ง อุณหภูมิจะยังคงอยู่ในสเปคแม้ในขณะที่เปิดประตูและระหว่างการเปลี่ยนชุดงาน
ออกแบบมาเพื่อใช้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100: วัสดุและพื้นผิวคัดเลือกเพื่อจำกัดการเกิดอนุภาค และรูปแบบการออกแบบหลีกเลี่ยงการปล่อยสารที่อาจปนเปื้อน photoresist โครงสร้างการควบคุมถูกปรับแต่งให้ตรงกับข้อกำหนดของเซมิคอนดักเตอร์—ค่าที่ตั้งไปยังเวเฟอร์ ไม่ใช่แค่ตัวเรือนเครื่อง—จึงสามารถทำงานต่อเนื่องได้ในแต่ละกะทำงาน
เหตุผลที่ใช้งานได้ในขั้นตอนลิโธกราฟี
ขั้นตอนอบเป็นจุดที่สร้างการยึดเกาะ การขจัดตัวทำละลาย และความเครียดของฟิล์ม เมื่อมีความสม่ำเสมอ ±0.1°C จะช่วยลดความแปรผันของความกว้างเส้น เพิ่มความแม่นยำในการจัดชั้น และลดการทำงานซ้ำ การตั้งค่าอุณหภูมิเพื่อให้ได้ค่าคงที่อย่างรวดเร็วช่วยลดเวลาระหว่างการเปลี่ยนงาน ทำให้เพิ่มเวลาทำงานโดยไม่ต้องแลกกับโปรไฟล์การอบที่เปลี่ยนแปลง
การให้ความร้อนแบบเจาะจงและการเก็บความร้อนที่มีประสิทธิภาพช่วยควบคุมการใช้พลังงานให้อยู่ในระดับที่เหมาะสม ลดต้นทุนต่อแผ่นเวเฟอร์ พร้อมรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในแต่ละกะได้อย่างเคร่งครัด การปฏิบัติตามมาตรฐาน CE หมายความว่าระบบนี้ผ่านข้อกำหนดด้านความปลอดภัยและการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้าตามมาตรฐานสำหรับการนำไปใช้งานในกระบวนการผลิต
ข้อควรระวัง
เครื่องทำความร้อนนี้ใส่ลงในแผ่นอบเซมิคอนดักเตอร์มาตรฐานและส่วนเชื่อมต่อของห้องปลอดฝุ่นได้ แต่ควรตรวจสอบขนาดและความคลาดเคลื่อนในการติดตั้งกับอุปกรณ์ของคุณ สำหรับประสิทธิภาพเต็มที่ ชุดซ้อนกันของความร้อน—แผ่น, ตำแหน่งเซ็นเซอร์, และตัวรองรับเวเฟอร์—จำเป็นต้องสอดคล้องกับค่าการแผ่รังสีและเงื่อนไขการสัมผัสที่ระบุไว้
ติดตั้งโดยวิธีที่ถูกต้อง: ทำแผนที่เมโทโลยีรอบผิวเวเฟอร์ แล้วล็อคโปรไฟล์ไว้ในหน้าต่าง SPC