วิธีรักษาความปลอดภัยของเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดในกระบวนการทำความสะอาดด้วยสารเคมี
พูดตามตรงนะครับ การนำหลอดไฟอินฟราเรดมาใช้ในกระบวนการทำความสะอาดชิป semiconductor ก็เหมือนกับการเล่นกับไฟเลยครับ คุณกำลังจัดการกับไอระเหยที่อาจก่อให้เกิดการระเบิดได้ แค่มีประกายไฟเล็กๆ หรือซีลที่แตก ก็อาจก่อให้เกิดหายนะได้เลยครับ
เราไม่อยากเสี่ยงแบบนั้นเลยครับ ดังนั้นเราจึงใช้วิธีห่อหุ้มองค์ประกอบต่างๆ ไว้ด้วยซีลที่แน่นหนา
เคล็ดลับอยู่ที่ “ซองหุ้ม” นั่นเอง
เรานำองค์ประกอบการทำความร้อนและเซ็นเซอร์อุณหภูมิไปห่อหุ้มไว้ในซองที่ทำจากควอตซ์หรือเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูง จากนั้นก็ล็อกมันไว้ด้วยฟลังก์ที่ทนทานต่อสารเคมี มันเหมือนกับเกราะป้องกันเลยครับ ช่วยให้ไฟฟ้าไม่สัมผัสกับสารเคมีที่กัดกร่อนได้ และช่วยป้องกันไม่ให้ไอระเหยที่กัดกร่อนมาทำลายสายไฟได้ครับ
หากซีลเกิดแตกขึ้นมา หลอดไฟก็มักจะดับลงอย่างรวดเร็ว ดังนั้นเราจึงใช้ซีลที่แน่นหนา เพื่อให้ภายในหลอดไฟยังคงปลอดภัยอยู่ครับ
การควบคุมอุณหภูมิให้เหมาะสม
ในโลกของชิป semiconductor แล้ว “เพียงแค่ใกล้เคียงก็ไม่เพียงพอ” คุณต้องมีความแม่นยำสูงครับ
เพื่อให้ได้ความแม่นยำนั้น เราจึงติดตั้งเซ็นเซอร์อุณหภูมิไว้ภายในเครื่องทำความร้อนโดยตรง วิธีนี้จะช่วยลดความล่าช้าในการเพิ่มอุณหภูมิได้ เพราะเซ็นเซอร์อยู่ใกล้กับหลอดไฟมาก คุณจึงสามารถรู้ได้ทันทีว่าอุณหภูมิเป็นอย่างไร
โดยปกติแล้วเราจะใช้เซ็นเซอร์แบบ K-type หรือ J-type ขึ้นอยู่กับอุณหภูมิที่ต้องการ แต่สิ่งสำคัญคือเราต้องปกป้องสายไฟด้วยครับ หลอดไฟที่มีกำลังสูงอาจก่อให้เกิดสัญญาณรบกวนทางไฟฟ้าได้ และเราไม่อยากให้สิ่งนั้นมารบกวนตัวควบคุม PID ของคุณครับ
ข้อเสียของการป้องกันแบบนี้
การป้องกันแบบนี้มีข้อเสียอยู่ด้วยครับ การห่อหุ้มองค์ประกอบต่างๆ จะทำให้มีน้ำหนักเพิ่มขึ้น คุณจะสังเกตเห็นว่าการเพิ่มอุณหภูมิจะใช้เวลานานกว่าเดิม ดังนั้นคุณต้องมั่นใจว่าแหล่งจ่ายไฟของคุณมีกำลังเพียงพอที่จะรองรับความล่าช้านั้นได้ครับ
นอกจากนี้ คุณก็ต้องคอยดูแลซีลด้วยครับ แม้แต่ซีลที่แข็งแรงที่สุดก็อาจเสื่อมสภาพได้หลังจากใช้งานหลายพันชั่วโมงในสภาพแวดล้อมที่มีสารเคมีรุนแรง
เคล็ดลับ: หากควอตซ์เริ่มมีความขุ่น อย่ารอช้าครับ ควรเปลี่ยนหลอดไฟทันทีก่อนที่ซีลจะเสื่อมสภาพครับ