Duvarlarınızı ısıtmayı bırakın (ve yerine waflarınızı ısıtmaya başlayın)
Çoğu ısıtıcı eleman oldukça karmaşıktır. Isıyı her yere dağıtırlar; bu da yarıiletken üretim odalarında büyük bir sorundur. Sonuç olarak “sıcak duvarlar” oluşur ve pahalı ekipmanların iç kısımları zarar görür. Bu durum sadece ekipmanlarınız için tehlikeli değil, aynı zamanda makine üzerinde çalışan kişiler için de ciddi bir güvenlik riskidir.
Daha iyi bir çözüm bulduk: Yönündeki kızılötesi ısıtma lambaları.
Nasıl çalışır?
Dirençli ısıtıcıları bir oda ısıtıcısı gibi düşünebilirsiniz; bunlar sadece havayı ısıtır. Kızılötesi lambalar ise farklıdır; elektromanyetik radyasyonu düz bir hat üzerinden gönderirler. Bu lambaları, waferin yüzeyine doğrudan ısı verecek şekilde ayarlarız. Dalga boyunu ve uygun yansıtıcıları kullanarak enerjinin yalnızca wafer üzerinde kalmasını sağlarız. Böylece ısı, odanın duvarlarına yayılmaz.
Sonuç? Ekipmanınızın dış kısmı serin kalır ve waferiniz hedef sıcaklığa çok daha hızlı ulaşır.
Detaylar
Bu lambaları yüksek ısı yüklerini kaldırabilecek şekilde tasarlıyoruz. Kuvars kaplamalar ve halojen filamentler kullanıyoruz; çünkü bunlar anında açılıp kapanır ve böylece hassas bir sıcaklık kontrolü sağlanır. Bunları mevcut PID devrelerine bağlayarak toleransları kontrol altında tutabilirsiniz.
Ancak bir dezavantajı var: Bu lambalar çok az alanda çok fazla enerji ürettikleri için hassastırlar. Eğer yansıtıcılar kirli olursa veya birkaç milimetre kadar yer değiştirirse, wafer üzerinde sıcak noktalar oluşur. Bu nedenle optik yolların temiz tutulması şarttır; aksi takdirde üretim bozulur.
Hem ekipmanlar için hem de insanlar için daha iyi
Duvarların aşırı ısınmasını engellemek sadece donanımı korumakla ilgili değildir; aynı zamanda makinenin yanında çalışan insanlar için de önemlidir. Dış kısım serin kaldığı için bakım sırasında yanıklar yaşanmaz. Ayrıca, havayı ve makine iskeletini ısıtmak için gereksiz enerji tüketimi de ortadan kalkar. Enerji tam da olması gereken yere, yani waferin üzerine gitmiş olur.