Waferlerin Kirlenmesini Başlamadan Önlemek
Yüksek kapasiteli yarı iletken üretim hatlarında, bir lambanın patlaması sadece bir sorun değildir; bu bir kâbustur. Standart kuvars tüpleri bozulduğunda, sadece çalışmayı bırakmaz; aynı zamanda silikon waferler üzerine parçacıklar ve kimyasal maddeler saçar. Bir kez patlama olursa, tüm ürünler boşa gider. İşte bu yüzden ozonsuz IR lambalarımızın yapısını yeniden düşünüyoruz.
Ozonun Sorunları
Çoğu kısa dalga boylu IR lambası 185 nm civarında radyasyon yaymaktadır. Sorun şu ki, bu radyasyon havadaki oksijenle reaksiyona girerek ozon oluşturur. Ozon çok zararlıdır; aşındırıcıdır ve makinenizin iç kısımlarını yavaş yavaş tahrip eder. Ayrıca waferlerin yüzeyindeki kimyasal yapıları da bozabilir. Bunu, VUV dalga boylarını filtreleyen özel bir kuvars cam kullanarak çözdük. Böylece ozonun oluşumu engellenmiş oluyor. Çok basit.
Isı Sorunları
Yüksek yük koşulları oldukça zorlayıcıdır. Sıcaklık değişimleri çok büyük olur ve bu durum genellikle camların kırılmasına neden olur. Bunu önlemek için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Bu malzeme, ucuz malzemelere kıyasla çok daha az genleşir veya büzülür. Ayrıca, filament ile uç kapakları arasındaki contaları güçlendirdik ki gaz sızmamasın. Eğer halojen devresi bozulursa, lamba sadece yanar; patlamaz.
Tercihler
Unutmayın ki, hiçbir şey bedava değildir. Bu filtreler belirli dalga boylarını engellediğinden, spektral çıktı biraz değişir. Isınma hızının biraz farklı olduğunu fark edebilirsiniz. Alışık olduğunuz sonuçları elde etmek için bekleme süresini ayarlamanız veya güç yoğunluğunu artırmanız gerekebilir.
Kullanımı
Bunları kolayca değiştirilebilecek şekilde tasarladık. Güç kaynaklarınızın yeni lambanın watt değerine uygun olduğundan emin olun. Ne pahasına olursa olsun, ısı kaybını telafi etmek için lambaya aşırı voltaj uygulamayın. Bu, filamentin yanmasına veya lambanın patlamasına yol açar. Bir ipucu daha: Soğutma fanlarınızı temiz tutun. Kuvars üzerindeki sıcak noktalar büyük bir tehlikedir.