На лінії довжиною 300 мм термічний бюджет є обов’язковим параметром – це межа, яку не можна переступати. Якщо температура під час процесу нагрівання змінюється на півградуса, це буде видно на профілі фоторезисту. Якщо ж температура не досягає заданого рівня, після процедури розкриття фоторезисту можуть утворитися небажані включення. Ми розробили ці нагрівачі саме з урахуванням таких умов, адже на виробництві кожна хвилина непланової зупинки призводить до зниження продуктивності.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми підтримуємо термічну однорідність на рівні ±0,1°C протягом усього діапазону температур. Швидкість зміни температури дозволяє дотримуватися заданих параметрів. Камера оснащена елементами короткохвильового інфрачервоного випромінювання з кварцовим ізолятором, що запобігає появі сторонніх частинок. Кількість частинок у чистій кімнаті залишається стабільною на рівні 1–100 класу.
Повторюваність результатів гарантується завдяки системі керування: однакові параметри, однаковий профіль для кожної партії продукції.
Чому це ефективно у літографії
Стабільний процес нагрівання дозволяє контролювати критичні розміри та кути стінок. Ці нагрівачі зберігають задані параметри протягом 7×24 годин, а протягом багатьох років експлуатації ми не спостерігали жодних непланових зупинок.
Це означає менше відходів, менше необхідності у повторній обробці продукції, а також стабільні тайм-інтервали виконання процесів. Конструкція є ефективною – завдяки тісному з’єднанню елементів та низькій тепловій ємності можна скоротити витрати енергії, не втрачаючи при цьому контролю над температурою.
Кілька практичних порад
Ці пристрої можна встановлювати у стандартні лінії, але необхідно правильно налаштувати термічне з’єднання з платою та механічними елементами обладнання. Проведіть короткий тестовий запуск, щоб налаштувати параметри PID для вашого конкретного обладнання.
Як тільки ці параметри будуть налаштовані правильно, процес буде стабільним.