На лінії виробництва місця для процедур „м’якого“ та „жорсткого“ нагрівання не є ідеальними для отримання якісних результатів. Навіть незначна зміна температури на два градуси може призвести до зміни критичних параметрів продукту, а підвищена кількість частинок може зіпсувати всю партію продукції. Тож ми створили лампи інфрачервоного опалення з подвійними трубками, щоб забезпечити необхідний рівень контролю під час процесу.
Усе, що має значення, дуже просто: конструкція з подвійними трубками дозволяє зосередити короткохвильове інфрачервоне випромінювання в вузькій зоні, що дозволяє досягти швидкого та ефективного нагрівання з мінімальною кількістю теплової енергії. На поверхні плати однорідність температури залишається в межах ±0,1°C, що забезпечує стабільність процесу фотолітування при виробництві кожної партії продукції.
Умови роботи в чистій кімнаті також є важливими – кварцові оболонки та герметичні з’єднання допомагають контролювати кількість частинок. Лампи не виділяють жодних газів під час роботи. Їх продуктивність залишається стабільною протягом 5 000 годин, а відхилення інтенсивності випромінювання не перевищує 5%. Це забезпечує стабільність температури в усій системі літографії.
Причина ефективності цього рішення проста: висока однорідність під час процедури „м’якого“ нагрівання зменшує варіації товщини плівки та покращує якість країв поверхні. Однорідність під час процедури „жорсткого“ нагрівання зменшує кількість необхідних корекцій та підвищує якість продукції. Швидке нагрівання скорочує час виконання процедури без втрати точності температури. Крім того, зосереджене інфрачервоне випромінювання дозволяє економити енергію, що знижує вартість виробництва кожної плати. У великомасштабних заводах ця надійність означає менше несподіваних зупинок та можливість планування робіт.
Щоб все функціонувало правильно, необхідно дотримуватися певних правил під час встановлення обладнання. Оптична налаштуваність має бути точною, а також потрібен окремий, захищений джерело живлення, щоб уникнути впливу електромагнітичних поля на сусідні елементи обладнання. Лампи працюють найкраще, коли їх поєднують із певною геометрією відбивачів та керують за допомогою пірометра з замкнутим контуром. Якщо змінити відбивачі без переналаштування, однорідність температури може змінитися на 0,2–0,3°C.
Після заміни ламп необхідно провести короткий період їх роботи та переналаштування, щоб температура знову залишилася в межах ±0,1°C.