ویفرز کی آلودگی کو اس سے پہلے ہی روکنا ضروری ہے۔
بڑے پیمانے پر سیمی کنڈکٹر پروڈکشن لائنوں میں، لیمپ ٹیوب کے پھٹنے سے صرف پریشانی ہی نہیں ہوتی، بلکہ یہ ایک بڑا مسئلہ بن جاتا ہے۔ جب کوئی معمولی کوارٹز ٹیوب خراب ہو جاتی ہے، تو یہ نہ صرف کام کرنا بند کر دیتی ہے، بلکہ اس سے سلیکون ویفرز پر ذرات اور کیمیائی مادے بھی جم جاتے ہیں۔ ایسی صورت میں پوری بیچ کی مصنوعات بیکار ہو جاتی ہے۔ اسی لیے ہم اپنے آزون-فری آئی آر لیمپوں کی تیاری کے طریقے پر دوبارہ غور کرتے ہیں۔
آزون کا مسئلہ
زیادہ تر شارٹ ویو آئی آر لیمپ، 185 نینومیٹر کی لہروں کا اخراج کرتے ہیں۔ مسئلہ یہ ہے کہ یہ لہریں ہوا میں موجود آکسیجن سے ٹکرا کر آزون پیدا کرتی ہیں۔ آزون بہت خطرناک ہے؛ یہ تیزابی ہے، اور یہ آہستہ آہستہ مشین کے اندرونی حصوں کو نقصان پہنچاتا ہے، اور ویفر کی سطح پر موجود کیمیائی مادوں کو بھی خراب کر دیتا ہے۔ ہم نے اس مسئلے کو حل کرنے کے لیے ایک خاص قسم کا کوارٹز گلاس استعمال کیا، جو ان VUV لہروں کو فلٹر کرتا ہے۔ اس طرح آزون کی تخلیق روک دی جاتی ہے۔ بس اتنا ہی۔
حرارت کا مسئلہ
زیادہ بوجھ کی صورت میں درجہ حرارت میں بہت زیادہ تغیرات ہوتے ہیں، اور اسی وجہ سے گلاس ٹوٹ جاتا ہے۔ اسے روکنے کے لیے ہم اعلیٰ معیار کا سنتھیٹک کوارٹز استعمال کرتے ہیں۔ یہ سستے کوارٹز کے مقابلے میں بہت کم پھیلتا ہے۔ ہم نے فلیمنٹ اور اینڈ-کیپس کے درمیان موجود سیلز کو بھی مضبوط کیا، تاکہ گیس باہر نہ نکل سکے۔ اگر ہیلوجن سسٹم خراب ہو جائے، تو لیمپ صرف جل جاتا ہے، پھٹتا نہیں۔
تضادات
لیکن یہاں ایک مسئلہ یہ ہے کہ کچھ بھی مفت نہیں ہے۔ چونکہ یہ فلٹرز کچھ لہروں کو روکتے ہیں، اس لیے طیفی خصوصیات میں تھوڑا تبدیلی آ جاتی ہے۔ آپ کو اپنے پروسیس کے لیے مناسب وقت یا پاور ڈینسٹی کو درست کرنا پڑ سکتا ہے۔
ان لیمپوں کو استعمال کرنے کا طریقہ
ہم نے ان لیمپوں کو ایسے ڈیزائن کیا ہے کہ انہیں آسانی سے تبدیل کیا جا سکے۔ بس یقین کریں کہ آپ کا پاور سپلائی، نئے لیمپ کی واٹیج کے مطابق ہے۔ ہرگز لیمپ پر زیادہ وولٹیج نہ لگائیں، ورنہ فلیمنٹ خراب ہو سکتا ہے یا لیمپ پھٹ سکتا ہے۔
ایک اہم نصیحت: اپنے کولنگ فینوں کو صاف رکھیں۔ کوارٹز پر گرم نقاط بہت خطرناک ہیں۔