لیتھوگرافی کے عمل میں، “سافٹ بیک” کو صرف ایک وارم اپ کے طور پر نہ لیا جائے۔ دراصل یہ ایک حرارتی عمل ہے جس کے ذریعہ مذاب مادہ کی مقدار کو کنٹرول کیا جاتا ہے، اور فوٹو ریزسٹ کو مناسب جگہ پر رکھا جاتا ہے۔ اگر ویفر پر 1°C کا فرق پیدا ہو جائے، یا لیمپ سے نکلنے والی روشنی میں کوئی تفاوت پیدا ہو جائے، تو اہم پیمائشی عمل متاثر ہو جاتا ہے۔ لائنوں کی چوڑائی میں عدم توازن پیدا ہو جاتا ہے، اور خرابیاں بھی پیدا ہو جاتی ہیں۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
ہم “سافٹ بیک” کے لئے NIR لیمپ استعمال کرتے ہیں، کیونکہ یہ حرارتی فیلڈ میں سب-ملی میٹر سطح کی یکسانیت فراہم کرتے ہیں۔ کوارٹز-ہیلوجن ایمیٹر اور ریفلیکٹر کی ساخت ایسی ہے کہ حرارتی پروفائل ویفر کے مطابق ہوتا ہے، نہ کہ ہیٹر کے مطابق۔ ویفر کی سطح پر یکسانیت کو ±0.1°C کے اندر رکھا جا سکتا ہے، اور لیمپ کی کارکردگی مستحکم ہونے کی وجہ سے ہر بار یکساں نتائج حاصل ہوتے ہیں۔
کلین روم کے لحاظ سے کیا اہم ہے؟
کلاس 1–100 کے ماحول میں، لیمپ سے کوئی ذرہ خارج نہیں ہوتا، اور اس طرح آپریشن کے دوران کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا۔
یہاں یہ عمل کیوں کام کرتا ہے؟
بڑے پیمانے پر پروڈکشن میں، “سافٹ بیک” کی بار بار دہرائی جانے والی کارکردگی ہی پروڈکشن کی کامیابی کی کنجی ہے۔ NIR لیمپ کی وجہ سے ویفر جلدی ہی مناسب درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، اور حرارتی بجٹ میں کوئی اضافہ نہیں ہوتا۔ فوٹو ریزسٹ کی موٹائی اور اس کے کناروں کی حالت کو بہتر طریقے سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے، جس سے پروسیس میں بہتری آتی ہے اور فضول مواد کی مقدار کم ہو جاتی ہے۔
توانائی کی کھپت کیا ہے؟
لیمپ براہ راست ویفر کو گرم کرتا ہے، نہ کہ اس کے ارد گرد کی ہوا کو۔ اس طرح توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے۔ لیمپ کی قابل اعتماد کارکردگی کی وجہ سے آلات 5,000 گھنٹوں تک کام کر سکتے ہیں، اور اس دوران پروڈکشن میں 5% سے بھی کم کمی واقع نہیں ہوتی۔
کن چیزوں کو مدِ نظر رکھنا ضروری ہے؟
NIR لیمپوں کی تنصیب اور ان کی سمت کا خیال رکھنا ضروری ہے۔ ایمیٹر سے ویفر کے درمیان کا فاصلہ اور ریفلیکٹر کی حالت بہت اہم ہے؛ اس لئے کسی بھی تبدیلی کے لئے آلے کی مکانیکی ساخت اور کولنگ سسٹم کو بھی مدِ نظر رکھنا ضروری ہے۔ لیمپ معیاری انٹرفیسز کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن اگر بیک پلیٹ یا ویفر کا سائز تبدیل ہو جائے، تو حرارتی پروفائل بھی تبدیل ہو جاتا ہے۔ لہذا، ایمیٹر کی زندگی کے دوران ہی سپیئر پارٹس کا انتظام کرنا ضروری ہے۔