Trên sàn sản xuất, việc nướng nhựa E-beam không phải là một sự khởi động. Đó là một yếu tố quyết định trong quy trình. Nếu bị lệch 2°C trên bề mặt nóng, độ lệch kích thước quan trọng của bạn sẽ thay đổi. Sự chồng chéo bắt đầu trượt. Sau đó, bạn phải theo đuổi năng suất qua tế bào quang khắc trong khi lịch trình bị trượt.
Những gì thực sự quan trọng bên trong
Chúng tôi đã xây dựng bộ gia nhiệt nướng nhựa E-beam dựa trên các phát xạ hồng ngoại sóng ngắn (NIR) và một kiến trúc nhiệt được tăng cường bằng thạch anh. Lợi ích là độ đồng nhất nhiệt dưới một milimét trên toàn bộ wafer, và độ lặp lại giữ điểm thiết lập trong khoảng ±0.1°C. Đây không phải là một tuyên bố trên bảng tính. Nó được đo trên wafer, dưới các dòng khí sản xuất, với bản đồ cặp nhiệt điện theo hình dạng của công cụ. Hệ thống hoạt động trong các phòng sạch loại 1–100, và việc giám sát tại chỗ xác nhận không có sự phát sinh hạt. Bạn có thể tin tưởng vào độ tin cậy 24/7—không có thời gian ngừng hoạt động không dự kiến liên quan đến sự trôi dạt của bộ gia nhiệt.
Tại sao nó quan trọng trong quang khắc E-beam
Trong quang khắc E-beam, hồ sơ nhựa phụ thuộc vào ngân sách nhiệt mà bạn cung cấp trong quá trình nướng mềm và nướng sau khi phơi sáng. Bộ gia nhiệt của chúng tôi giữ ngân sách đó, vì vậy việc kiểm soát kích thước quan trọng không còn là một trò chơi đoán.
Bạn sẽ nhận được hành vi nhựa quang đồng nhất từ lô này sang lô khác, ít phải làm lại hơn, và ít phế liệu hơn. Mức tiêu thụ năng lượng giảm nhờ vào phản ứng nhiệt nhanh và kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ, và bạn không phải trả giá cho điều đó bằng việc mất năng suất.
Một số chi tiết thực tiễn
Việc lắp đặt có nghĩa là kết hợp giao diện công cụ buồng và hồ sơ cung cấp khí. Bộ gia nhiệt hoạt động tốt nhất khi đường thoát khí được cân bằng—nếu không, bạn có thể gặp phải tình trạng làm mát cục bộ.
Lập kế hoạch cho một buổi chạy thử nghiệm ngắn để điều chỉnh công thức của bạn theo thời gian phản ứng nhiệt của bộ gia nhiệt. Khi nó đã được điều chỉnh, quy trình sẽ được kiểm soát, và phép đo sẽ không mang lại cho bạn bất kỳ bất ngờ nào.