Trên dây chuyền sản xuất có chiều dài 300mm, giới hạn nhiệt độ không phải là một yêu cầu gợi ý – đó là giới hạn mà không thể vượt quá. Nếu nhiệt độ tăng lên nửa độ C trong quá trình nung, bạn sẽ nhận thấy điều đó qua bản đồ nhiệt độ của lớp phủ quang học. Nếu nhiệt độ không đạt mức yêu cầu, bạn sẽ gặp vấn đề khi xử lý sản phẩm sau này. Chúng tôi thiết kế những bộ gia nhiệt này để đối phó với những tình huống như vậy; bởi ở nhà máy, mỗi phút ngừng hoạt động bất ngờ đều ảnh hưởng đến hiệu suất sản xuất.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi đảm bảo rằng độ đồng đều về nhiệt độ trên các tấm wafer nằm trong khoảng ±0,1°C trong suốt quá trình nung. Tốc độ thay đổi nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ để đảm bảo mức nhiệt độ như mong muốn. Buồng nung sử dụng các元件 phát sóng hồng ngoại tần số cao, kết hợp với cấu trúc cách ly bằng thạch anh, nhờ đó không có chất gây ô nhiễm nào xuất hiện. Số lượng hạt bụi trong phòng sạch luôn ở mức ổn định, trong khoảng từ Class 1 đến 100.
Khả năng lặp lại quy trình cũng được đảm bảo nhờ hệ thống điều khiển: cùng một mức nhiệt độ, cùng một mô hình nhiệt độ, từ lô sản phẩm này sang lô sản phẩm khác.
Tại sao thiết kế này hiệu quả trong công nghệ in ấn
Trong quá trình in ấn, việc duy trì nhiệt độ ổn định trong suốt quá trình nung là rất quan trọng để kiểm soát kích thước và góc của các bề mặt trên wafer. Những bộ gia nhiệt này có thể duy trì mức nhiệt độ mong muốn trong suốt 7×24 giờ liên tục. Trong nhiều năm sử dụng, chúng tôi chưa gặp phải trường hợp nào phải ngừng hoạt động bất ngờ.
Điều này giúp giảm số lượng wafer bị hỏng, giảm số lần phải làm lại sản phẩm, và giúp giảm thời gian sản xuất. Thiết kế này rất hiệu quả – với khả năng kết nối các元件 một cách chặt chẽ và khối lượng nhiệt thấp – giúp tiết kiệm năng lượng mà vẫn đảm bảo khả năng kiểm soát nhiệt độ.
Một vài lưu ý thực tế
Những bộ gia nhiệt này có thể được lắp đặt vào các dây chuyền sản xuất thông thường, nhưng bạn cần đảm bảo rằng khả năng kết nối nhiệt độ phù hợp với cấu trúc của khuôn và các bộ phận cơ học của máy móc. Hãy dành thời gian để điều chỉnh các thông số PID sao cho phù hợp với loại khuôn và cấu trúc wafer cụ thể của bạn.
Khi các thông số đã được điều chỉnh đúng cách, quy trình sản xuất sẽ diễn ra ổn định.