Trong quy trình in ấn bằng phương pháp litography, một sự thay đổi nhiệt độ chỉ 1°C trong quá trình xử lý hóa chất phủ lên wafer cũng đủ để làm thay đổi các kích thước quan trọng của wafer, khiến wafer bị hỏng và phải bị vứt bỏ. Do đó, cần có hệ thống kiểm soát nhiệt độ chính xác, giúp duy trì nhiệt độ ở mức yêu cầu trong suốt quá trình sản xuất.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật: Các bộ sưởi trong nhà máy của chúng tôi giúp duy trì độ đồng đều nhiệt độ trên bề mặt wafer ở mức ±0,1°C, với độ lặp lại nhiệt độ ở mức ±0,5°C. Bạn cần chọn loại bộ sưởi phù hợp với nhu cầu sử dụng của mình – có thể là loại halogen, sóng trung bình, hoặc loại carbon-fiber/NIR – với điện áp từ 100 V đến 480 V. Ngoài ra, cần đảm bảo rằng kích thước của bộ sưởi phù hợp với các thiết bị sấy, khay đựng wafer, và các thiết bị khác trong quy trình sản xuất.
Các vật liệu làm từ thạch anh và gốm có độ tinh khiết cao giúp giảm thiểu việc phát sinh khí và hạt bẩn, từ đó giúp duy trì môi trường sạch trong phòng sản xuất. Hệ thống kiểm soát nhiệt độ được thực hiện thông qua công nghệ PID, với các tùy chọn kết nối RS-485/Ethernet. Các bộ sưởi được thiết kế để hoạt động 24/7, với thời gian hoạt động liên tục không bị gián đoạn.
Tại sao chúng vẫn hoạt động tốt trong thực tế? Trong quy trình xử lý hóa chất phủ lên wafer, độ đồng đều nhiệt độ cao giúp đảm bảo quy trình xử lý diễn ra ổn định, từ đó giúp kiểm soát được kích thước của wafer một cách chính xác. Trong quy trình đóng gói, việc kiểm soát nhiệt độ ổn định giúp giảm thiểu tình trạng cong vênh của wafer, từ đó rút ngắn thời gian xử lý và giảm chi phí sửa chữa.
Khả năng phản ứng nhanh khi nhiệt độ thay đổi và mức tiêu thụ năng lượng thấp giúp tiết kiệm năng lượng. Thiết kế sạch sẽ của các bộ sưởi giúp giảm số lượng hạt bẩn, từ đó giúp giảm chi phí bảo trì.
Một số thực tế trong quá trình sản xuất: Việc lắp đặt các bộ sưởi đòi hỏi phải tính toán kỹ lưỡng về khối lượng của bề mặt sưởi và các yếu tố liên quan đến việc truyền nhiệt. Thời gian cần thiết để điều chỉnh các thông số PID cũng khá ngắn. Các bộ sưởi này tương thích với chuẩn SECS/GEM, nhưng việc kết nối hoàn chỉnh vẫn phụ thuộc vào phiên bản bộ điều khiển của bạn.
Hãy đảm bảo rằng quá trình sản xuất diễn ra trong khoảng nhiệt độ cho phép, đồng thời giữ cho các đường dẫn khí và hệ thống làm mát luôn thông thoáng. Nếu không, sự thay đổi nhiệt độ sẽ làm suy giảm tuổi thọ của các bộ sưởi.