Tận dụng tối đa hiệu quả của việc sấy khô wafer
Khi sấy khô wafer, mục tiêu rất đơn giản: truyền càng nhiều nhiệt lượng càng tốt vào bề mặt wafer. Bạn không muốn lãng phí chút năng lượng nào để làm nóng thân máy. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các bộ phản xạ được phủ bằng vàng. Chúng có khả năng thu hồi ánh sáng hồng ngoại – thứ vốn sẽ bị tỏa ra ngoài – và đưa nó trở lại chỗ cần thiết.
Tại sao lại chọn vàng?
Bạn có thể nghĩ rằng nhôm được mài nhẵn cũng có thể hoàn thành công việc này. Nhưng nhôm kém hiệu quả trong việc phản xạ ánh sáng hồng ngoại sóng dài. Vàng thì khác; nó có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại ở mọi bước sóng. Nhờ đó, nhiều photon hơn được truyền trở lại về phía wafer. Điều này giúp tập trung năng lượng một cách tốt hơn, giúp bạn không cần tăng công suất quá cao để đạt được nhiệt độ cần thiết. Điều này mang lại lợi ích cho cả chi phí điện năng và tuổi thọ của thiết bị.
Yếu tố quan trọng là hình dạng của bộ phản xạ
Hãy coi bộ phản xạ như một công cụ dùng để định hướng dòng nhiệt, chứ không chỉ là một tấm gương thông thường. Chúng ta cần thiết kế chúng sao cho chúng có thể chiếu nhiệt vào vị trí cụ thể trên bề mặt wafer. Điều này giúp loại bỏ những vùng “lạnh” trên bề mặt wafer và giúp nhiệt được phân bổ đều. Nếu độ cong của bộ phản xạ sai lệch chỉ vài phần trăm milimét thôi, bạn sẽ gặp phải sự chênh lệch nhiệt độ. Và đó chính là nguyên nhân khiến quá trình sấy khô bị gián đoạn.
Nhược điểm
Vàng là vật liệu tuyệt vời, nhưng nó lại khá mềm. Xin đừng dùng các chất tẩy rửa mạnh hay miếng chà để làm sạch chúng. Điều này sẽ làm mất lớp phủ vàng, từ đó làm giảm hiệu quả hoạt động của bộ phản xạ. Hãy sử dụng các chất tẩy rửa được phép sử dụng. Ngoài ra, vì bộ phản xạ này có khả năng truyền nhiệt rất tốt, nên chúng cũng tạo ra áp lực lớn lên các bộ phận giữ đèn. Hãy kiểm tra xem các quạt làm mát có hoạt động tốt hay không. Nếu không, đèn sẽ bị hỏng rất nhanh. Hãy đảm bảo dòng khí lưu thông tốt, như vậy thời gian sấy khô sẽ giảm xuống và chi phí cũng sẽ giảm theo.