Ra ngoài nhà máy, một tấm wafer 300mm được đóng gói với hàng ngàn die, và ngân sách nhiệt là thiêng liêng. Sự trôi lệch 2°C trong quá trình nướng mềm photoresist hoặc làm nóng spike có thể nướng một khuyết tật ngay vào mẫu, làm sai lệch độ đồng đều CD, và xóa bỏ rất nhiều die tốt. Chúng tôi dựa vào hệ thống đèn xử lý nhiệt nhanh (RTP) để ngăn điều đó xảy ra, với kiểm soát nhiệt độ tấm wafer có thể lặp lại.
Điều gì thực sự quan trọng bên trong
Chúng tôi vận hành đèn halogen sóng ngắn trong một thiết lập pyrometry vòng kín. Điều này cho phép chúng tôi có phản ứng trong mili giây và độ đồng đều nhiệt độ chặt chẽ trên toàn bộ tấm wafer—thường là ±0.1°C. Các thành phần thạch anh và thiết bị có độ phát thải thấp giữ cho số lượng hạt bụi giảm, điều mà bạn cần cho các lớp sạch từ 1–100. Lợi ích là việc kết nối năng lượng vào chồng rất dễ đoán, cho dù bạn đang thực hiện nướng cứng photoresist hay làm nóng spike, với sự vượt quá nhiệt tối thiểu. Cửa sổ quy trình mở rộng ra, và tính lặp lại theo chu kỳ được cải thiện.
Lý do điều này hoạt động tốt trong các đường lithography và các tế bào RTP là đơn giản: đèn giữ sự ổn định điểm đặt lot sau lot. Điều này có nghĩa là ít tấm wafer bị loại bỏ và ít công việc sửa chữa lại. Nhiệt độ sạch, khô giữ nguyên hình dạng photoresist, giảm thiểu khuyết tật, và giữ các kích thước quan trọng đúng mục tiêu. Sử dụng năng lượng giảm bớt vì đèn làm nóng mục tiêu trực tiếp và phục hồi nhanh. Độ tin cậy được xây dựng xung quanh hoạt động 24/7 với bảo trì theo kế hoạch, không phải thời gian ngừng hoạt động bất ngờ.
Một vài thực tế cần ghi nhớ: đèn nhạy cảm với sự định vị quang học, và các thiết bị đo nhiệt độ cùng hình dạng phản xạ cần được hiệu chuẩn định kỳ. Việc tích hợp phải phù hợp với kích thước buồng của công cụ, khí thải và hóa chất khí. Chúng tôi làm việc với nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM) và các công thức quy trình của bạn để điều chỉnh các hồ sơ công suất và đảm bảo mọi thứ hoạt động cùng nhau. Lập kế hoạch cho một khoảng thời gian đưa vào hoạt động ngắn, và giữ một chiến lược đèn dự phòng trên kệ—thời gian hoạt động quá đắt để để lại cho sự ngẫu nhiên.