Trên bề mặt phẳng của wafer, khi bộ sưởi RTP bắt đầu hoạt động, toàn bộ wafer vẫn tiếp tục di chuyển. Việc nung ở nhiệt độ không chính xác sẽ làm thay đổi cấu trúc của lớp thuốc phơi sáng. Ngược lại, việc nung ở nhiệt độ quá cao hay quá thấp sẽ khiến việc kiểm soát độ đồng nhất của CD trở nên khó khăn. Hậu quả là phải loại bỏ sản phẩm hỏng, phải tái xử lý chúng, và chi phí năng lượng cũng tăng lên một cách không thể khắc phục được.
Điều quan trọng thực sự là gì? Chúng tôi thiết kế bộ sưởi RTP sao cho độ đồng nhất của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer đạt mức ±0,1°C. Các bóng đèn halogen tia ngắn giúp tạo ra quá trình nung nhanh và ổn định, từ đó giúp duy trì độ đồng nhất của lớp thuốc phơi sáng. Cấu trúc bằng thạch anh và các vật liệu ít tỏa khí giúp duy trì mức độ ô nhiễm ở mức thấp trong các phòng sạch loại 1–100. Lớp cách nhiệt bằng sợi carbon giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng mà không làm tăng khối lượng nhiệt. Bộ sưởi này có thể được lắp đặt vào các buồng thí nghiệm và bộ điều khiển hiện có thông qua các kết nối tiêu chuẩn; do đó, độ đồng nhất của nhiệt độ sẽ được duy trì theo đúng yêu cầu.
Đó chính là lý do tại sao bộ sưởi này lại hiệu quả trong quá trình in ấn và khắc bản đồ. Nhiệt độ là yếu tố quan trọng trong quy trình sản xuất, và bạn không thể đo lường nó sau khi quy trình đã hoàn thành. Với bộ sưởi này, nhiệt độ nung sẽ ổn định, độ đồng nhất của CD sẽ được cải thiện, và áp lực lên lớp phim cũng sẽ nằm trong giới hạn cho phép. Độ ổn định của quy trình giúp rút ngắn thời gian chứng minh hiệu suất của hệ thống, đồng thời giúp việc lập kế hoạch trở nên dễ dàng hơn. Hệ thống này có thể hoạt động 24/7 mà không gặp sự cố, và tuổi thọ của bóng đèn lên tới 5.000 giờ trước khi cần thay thế. Điều này giúp giảm số lượng linh kiện dự phòng cần chuẩn bị, từ đó giảm chi phí bảo trì.
Việc lắp đặt bộ sưởi này đòi hỏi phải đảm bảo rằng cấu trúc của buồng thí nghiệm phù hợp, và vị trí của các bóng đèn phải được điều chỉnh sao cho đúng với mặt phẳng của wafer. Ngay cả sự sai lệch nhỏ cũng có thể gây ra sự không đồng nhất về nhiệt độ. Hãy lên kế hoạch thực hiện một vài lần thử nghiệm để điều chỉnh tốc độ nung và thời gian nung cho phù hợp. Bạn cũng cần chuẩn bị hệ thống làm mát hiệu quả hơn, vì việc duy trì độ đồng nhất của nhiệt độ ở mức ±0,1°C đòi hỏi sự phối hợp chặt chẽ với hệ thống làm mát. Chúng tôi cung cấp các bản vẽ kỹ thuật và dữ liệu về độ phân bố nhiệt để đảm bảo việc lắp đặt diễn ra thuận lợi.