Trong khu vực sản xuất, việc sử dụng phương pháp nung mềm hay nung cứng không phải là cách hiệu quả để đạt được chất lượng tốt. Chỉ cần có sự chênh lệch nhiệt độ 2 độ thôi cũng đủ khiến các thông số kỹ thuật bị ảnh hưởng; còn nếu có quá nhiều hạt bụi trong không khí, toàn bộ sản phẩm có thể bị hỏng. Vì vậy, chúng tôi đã thiết kế những bóng đèn sưởi bằng tia hồng ngoại gồm hai ống, nhằm đáp ứng yêu cầu khắt khe của quy trình sản xuất.
Điều quan trọng nhất chính là cấu trúc hai ống này giúp tập trung tia hồng ngoại ngắn sóng vào một khu vực nhỏ, từ đó mang lại hiệu quả sưởi ấm nhanh chóng và chính xác, với mức tồn nhiệt rất thấp. Trên bề mặt được nung, độ đồng đều của nhiệt độ được duy trì ở mức ±0,1°C – đây chính là yếu tố giúp quá trình xử lý hóa chất diễn ra đồng đều từ lô sản phẩm này sang lô khác.
Khả năng hoạt động trong môi trường sạch cũng là một yếu tố quan trọng. Các lớp vỏ bọc bằng thạch anh và các bộ phận kết nối được thiết kế sao cho có thể kiểm soát số lượng hạt bụi trong không khí. Các bóng đèn này cũng không tạo ra khí thải trong suốt quá trình hoạt động. Cường độ ánh sáng của chúng vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ hoạt động, với mức sai số dưới 5%, nhờ đó mà nhiệt độ trong quá trình sản xuất vẫn được duy trì ổn định.
Lý do tại sao phương pháp này hiệu quả trong thực tế rất đơn giản: việc nung mềm được thực hiện một cách chính xác giúp giảm sự biến đổi về kích thước của các chi tiết sản phẩm, đồng thời giúp loại bỏ những điểm không đều trên bề mặt sản phẩm. Việc nung cứng giúp giảm thiểu việc phải sửa chữa lại sản phẩm, từ đó nâng cao tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn. Việc nhanh chóng đạt đến nhiệt độ cần thiết giúp rút ngắn thời gian sản xuất mà vẫn giữ được độ chính xác về nhiệt độ. Ngoài ra, việc sử dụng tia hồng ngoại tập trung giúp tiết kiệm năng lượng, từ đó giảm chi phí sản xuất mỗi chiếc wafer. Trong các dây chuyền sản xuất với công suất cao, tính ổn định này giúp giảm thiểu những sự cố bất ngờ và giúp việc lập kế hoạch bảo trì trở nên dễ dàng hơn.
Để đảm bảo hiệu suất tốt nhất, cần phải điều chỉnh chính xác vị trí của các bóng đèn. Cần có nguồn điện riêng biệt, được bảo vệ kỹ lưỡng, để tránh tình trạng nhiễu điện từ ảnh hưởng đến các bộ phận khác trong dây chuyền sản xuất. Các bóng đèn sẽ hoạt động tốt nhất khi được kết hợp với các bộ phản xạ phù hợp, và được điều khiển bởi bộ đo nhiệt độ loại khép kín. Nếu thay đổi bộ phản xạ mà không điều chỉnh lại, độ đồng đều của nhiệt độ có thể tăng lên 0,2–0,3°C.
Sau khi thay thế bóng đèn, cần tiến hành quá trình khởi động lại và điều chỉnh lại nhiệt độ sao cho nó vẫn ở mức ±0,1°C.