引言 在晶圆加工过程中，设备的高可用性至关重要。一旦生产线停止运转，整个生产过程就会陷入停滞状态。 正因如此，我们设计卤素加热灯的目的就是确保生产线能够持续运行。我们的备用灯泡可直接替代原有灯泡使用，其性能完全符合现代半导体设备的温度及尺寸要求。 技术细节 在晶圆处理室中，所需的温度必须足够高且稳...

在生产车间，300mm晶圆上装满了成千上万的芯片，热预算至关重要。在光刻胶软烘烤或快速退火过程中，温度漂移2°C可能会将缺陷烘烤进图案中，导致CD均匀性不达标，并毁掉大量良品。我们依赖快速热处理（RTP）灯系统来防止这种情况的发生，确保晶圆级的温度控制可重复。 实际重要的部分 我们在闭环测温系统中...