半导体洁净室手推车式加热器

保持晶圆清洁：轨道式加热器的安全性考量 在大型半导体制造厂中，红外灯损坏无疑是个大问题。这不仅仅是维修所需的时间问题——当石英管破裂时，玻璃碎片和灰尘会直接溅到晶圆上，从而严重降低产品合格率，同时还会带来污染问题。 我们专门设计了轨道式加热器，就是为了防止这种连锁反应的发生。 那么，这些石英管为什...