在光刻工艺中，聚酰亚胺光阻对温度控制的要求非常高，普通的照明设备是无法满足这一要求的。如果加热温度有半度左右的偏差，就会导致光阻厚度不均匀；而如果加热程度过大，则会在刻蚀后留下残留物。因此，需要的是能够精确控制温度的加热装置——具备快速升温能力、高度重复性，并且能够在无尘环境中工作，不会向生产线上...

在光刻工序中，切勿将“软烘烤”步骤视为简单的预热环节。实际上，它是一个至关重要的热处理步骤，用于确保溶剂含量处于稳定状态，并使光阻剂能够牢固地附着在晶圆上。如果晶圆表面的温度出现1°C的波动，或者照明灯具的辐射分布不均，那么对尺寸精度的控制就会受到影响。此时，线路的宽度精度也会下降，进而引发各种缺...