CE认证半导体加热器

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤过程中0.3°C的温度波动就足以导致大量晶圆报废——而蚀刻阶段甚至还未开始。热预算不会妥协。我们针对这一现实制造了一款通过CE认证的半导体加热器：在整个烘烤窗口内可实现晶圆级均匀性±0.1°C，确保关键尺寸按工艺规范执行，而非受温度漂移影响。 技术关键点 该加热器结合了稳定...