晶圆加工设备用温度传感器

为何红外加热比热风加热更适合晶圆处理 如果您考虑在深度加工过程中从热风循环加热方式转向红外加热方式，那么请不要将其视为单纯“换用更先进的设备”。而应将其视为一种节省时间的方法。 热风加热的速度很慢。它依靠对流原理来加温，也就是说，先加热空气，再让空气去加热晶圆。这种方式存在一定的延迟。而红外加热则...